光寻址微通道空间光调制器系统设计与工作参量的选取

用调制传递函数方法计算了电子图象极限分辨率。并由此可决定近贴聚焦系统的参量。通过测量晶体材料和介质镜某些特性,获得 MSLM 的最佳性能。

微通道空间光调制器进展与应用

概述微通道空间光调制器(MSLM)进展情况。对微光图象实时处理、光计算和光学神经网络等领域中应用作了介绍与讨论。

具有图象放大、偏移和旋转功能的微通道空间光调制器

具有写入正、负电荷功能的微通道空间光调制器已经研制出来,它还具有图象放大、偏移和旋转的特殊功能。此器件能实现图象求导和拉普拉斯运算以及图象相加、相减和逻辑运算,从而促进了图形识别技术的进展。

电子束寻址微通道空间光调制器的实验研究

近年来,光学信息处理和光计算技术的发展促进了二维空间光调制器的发展。目前已有多种采用不同结构和工作原理的二维空间光调制器。本文报告一种真空可拆卸的电子束寻址微通道空间光调制器的某些初步的实验结果,并对目前所存在的问题及进一步改进方法进行讨论。

液晶空间光调制器在生物光学显微中的应用

利用液晶空间光调制器(LCSLM)对光学显微中的成像光进行实时的相位/振幅调制,不仅可以实现各种传统的生物样品相位显微,而且能够以更复杂的相位调制方式,如螺旋相位滤波,得到新的显微图像。该方式已经和荧光显微、光镊技术结合,丰富了生物显微技术。

基于空间光调制器的飞秒激光深微孔加工方法

针对飞秒激光振镜加工系统中聚焦透镜焦深短等原因导致微孔加工深度不足的问题,提出了一种基于高损伤阈值空间光调制器加载菲涅尔透镜相位进行焦点轴向调控的加工方法.通过加载不同焦距的菲涅尔透镜相位图,控制焦点以100μm为间隔进行焦点轴向位移,随着加工深度的增加控制焦点向下移动,并开展了相应的实验加工和测试.实验结果表明,采用该方法在保证高加工质量的前提条件下,在厚度为2 mm的不锈钢样件上实现了直径约为330μm的微孔加工.该方法开辟了二维振镜系统实现超深微孔加工的新探索,在激光加工领域有较好的应用前景.

基于高速相位型空间光调制器的双光子多焦点结构光显微技术

多焦点结构光照明显微镜(multifocal structured illumination microscopy, MSIM)能在50μm的成像深度内实现2倍于衍射极限分辨率的提升,但在对厚样品成像时,散射光和离焦光限制了其层析能力和图像衬度.双光子多焦点结构光照明显微镜(two-photon MSIM, 2P-MSIM)克服了样品组织散射的影响,进一步提高了MSIM的成像深度和成像特性.然而,现有的2P-MSIM通常采用振镜扫描成像,系统复杂,灵活性差.为了解决上述问题,本文提出了一种基于高速相位型空间光调制器(spatial light modulator, SLM)的双光子多焦点结构光照明超分辨显微成像系统,通过在SLM上同时加载生成多焦点阵列的相位图和线性相位光栅的相位图,实现了多焦点阵列的产生和在样品面上的高精度的并行数字随机寻址扫描和激发成像,结合像素重定位和反卷积技术实现了三维双光子多焦点结构光超分辨成像,解决了扫描振镜在2P-MSIM成像中的机械惯性问题,同时降低了系统的复杂性,提升了灵活性.在此基础上,利用搭建的2P-MSIM开展了小鼠肾组织切片和铃兰根茎双光子超分辨成像实验,验证了该方法的三维超分辨成像能力,对于2P-MSIM的发展具有重要的意义.

电寻址空间光调制器“黑栅”效应的消除方法

提出了两种消除电寻址空间光调制器由于低开口率所引起的“黑栅”效应的方法 :利用衍射微透镜阵列的方法和利用纯相位型光束整形器件阵列的方法 分析了这两种方法的基本原理 ,给出了微透镜阵列和光束整形器件阵列的设计思想 ,并比较了这两种方法的异同点 采用杨一顾相位恢复算法得到了光束整形结果 理论分析及仿真计算表明

MEMS空间光调制器的研究现状与发展趋势

空间光调制器是自适应光学系统中用来实时校正波前畸变的关键器件,其发展水平能够反映整个自适应光学系统的水平。基于微电子机械系统(MEMS)技术的空间光调制器具有体积小、能耗低、驱动器单元密度高以及与集成电路工艺兼容性好等优点,而成为空间光调制器领域研究的热点。详细介绍了MEMS空间光调制器的研究现状和存在的主要问题,并分析了MEMS空间光调制器的未来发展趋势。

基于涡旋光与球面波干涉的微位移测量研究

基于涡旋光与球面波的干涉原理,提出一种物体微位移的光学测量方法。改进马赫泽德干涉光路,其中一束光照射至空间光调制器产生涡旋光束作为参考光,另一束光经透镜变为球面波后照射至物体上,两束光干涉后干涉条纹呈螺旋状分布。当物体发生微小位移时两束光的光程差改变,螺旋干涉条纹发生旋转,通过干涉条纹的旋转角度可以确定物体的微位移量。经理论分析、仿真和实验证明:基于涡旋光与球面波干涉螺旋条纹旋转角度的变化能够实时监测物体位移量的变化,同时可以有效计算物体的微位移。实验中,测量物体的产生位移量为27 nm,通过涡旋光与球面波干涉螺旋条纹旋转角度的变化实际测得物体的位移为25.75 nm,误差为1.25 nm。

光调制技术及器件

TN761 94042924一种近贴式微通道板空间光调制器=A proximity-focused microchannel spatial light modulator[刊,中]/梁振宪,侯洵（中科院西安光机所）∥光学学报.—1994,14（1）.—78～82对由光电阴极、微通道板。网电极及斜切电光晶体LiNbO3组成的新型全近贴式微通道板空间光调制器（MSLM）进行了系统地研究。

基于数字全息术的实时光学全息显微分辨率分析

为了分析数字全息图记录和再现过程中影响再现像分辨率的因素,将空间光调制器与数字全息相结合,构建了实时光学三维显微系统.通过理论推导,得出了能够记录的物体大小和其分辨率之间的定量关系,同时也给出了最佳的参考光条件和最佳的记录距离;在此基础上,把USAF 1951鉴别率板的4个不同区域作为记录物体进行相应的实验.结果表明,实验与理论分析相吻合.

基于数字微镜器件的无掩膜光刻技术进展

基于空间光调制器的无掩膜光刻是光刻技术重要发展方向之一。近年来,随着数字微镜器件芯片集成度与性能的提高,数字微镜器件无掩膜光刻成为一种主要的数字光刻技术。由于可灰度调制的光反射式“数字掩膜”替代了传统光刻中使用的预制物理光掩膜版,该技术极大地简化了光刻制版流程,提高了光刻的灵活性,广泛应用于平面微纳器件、超材料、微流控器件、组织生物研究等领域。从数字无掩膜光刻原理出发,简要介绍了典型匀光照明系统结构与微缩投影系统结构,进而介绍了面向平面光刻的空间分辨率增强技术、灰度光刻技术以及三维微立体光刻技术的进展。最后,列举了几类典型的数字无掩膜光刻应用,并对其发展方向进行了展望。

一种基于空间光调制器的微透镜阵列制备技术

提出了一种基于空间光调制器的并行光刻制备微透镜阵列的技术。采用数字微反射镜器件输入光刻图形,结合热回流技术,制作任意结构和排布的微透镜阵列。无限远校正显微微缩光学系统的长焦深保证了深纹光刻的实现,热回流法提供了良好的表面光滑度。与传统逐层并行光刻和掩模曝光技术相比,提出的技术方案更加便捷灵活,特别适合制作特征尺寸在数微米至百微米的微透镜阵列器件。得到的微透镜阵列模版经过电铸转移为金属模具,利用紫外卷对卷纳米压印技术在柔性基底上制备微透镜阵列器件,在超薄液晶显示、有机发光二极管(OLED)照明等领域有广泛应用。

基于空间光调制器的光学显微成像技术

空间光调制器(SLM)是一种对光波的光场分布进行调制的元件。它广泛应用于光信息处理、光束变换和输出显示等诸多应用领域。随着高分辨率空间光调制器在光学显微成像系统中的应用,大大提高了显微振幅和相位样品显微成像的分辨率和对比度,不仅能够实现各种传统的相位显微技术,而且能够灵活地以更复杂的相位调制方式实现新的显微成像。在光学显微系统中,SLM不仅用以控制样品照明光束,同时能作为空间傅里叶滤波器用于成像光路,综述了SLM在光学显微系统中的多种灵活应用。

光调制与器件

TN761 2003053782电寻址空间光调制器"黑栅"效应的消除方法=Methodsof eliminating pixelation effect in electro-addressable spatiallight modulator[刊,中]/颜树华(国防科技大学机电工程与自动化学院.湖南,长沙(410073)),戴一帆…//光子学报.-2002,31(11).-1421-1424提出了两种消除电寻址空间光调制器由于低开口率所起的"黑栅"效应的方法:利用衍射微透镜阵列的方法和利用纯相位型光束整形器件阵列的方法。分析了这两种方法的基本原理。

西安光机所提出空间X射线通信新方法

近日，中科院西安光学精密机械研究所赵宝升团队开发出一种新型的X射线调制源和一种基于微通道板的X射线探测器，这两者分别作为发射和接收装置，实现了新的空间X射线通信方法实验。

西安光机所提出空间X射线通信新方法

中国科学院西安光学精密机械研究所开发出一种新型的X射线调制源和一种基于微通道板的X射线探测器，这两者分别作为发射和接收装置，实现了新的空间X射线通信方法实验。

基于空间光调制器的并行微纳光刻技术研究进展

并行微纳光刻技术是实现微结构快速制造的重要技术手段。在简要介绍并行微纳光刻技术原理和优势的基础上,重点对基于空间光调制器的并行微纳光刻技术进行了分析和论述。按照对入射光场的调制作用,分多焦点和投影并行微纳光刻两类综述了其技术原理和研究进展。最后对两类基于空间光调制器的并行微纳光刻技术的现状及存在问题进行了归纳总结,并对它们的发展前景进行了展望。

数字全息图微缩输出系统设计

在研究全息图性质的基础上,提出利用拼接技术实现数字全息图输出的缩微系统。系统将数字全息图按顺序分幅,并逐幅输入透射型空间光调制器(SLM),使数字全息图经光学缩微照相系统记录在介质上。阐述了数字全息图微缩自动输出系统的构成及工作原理,给出了输出系统各器件的技术指标。实验结果表明,该系统性能稳定,工作可靠,分辨率高,噪声低。