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微阵列检测技术在早期胚胎停育中的应用 被引量:5
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作者 刘丽平 周洁琼 +3 位作者 龚瑞龙 侯俐 宋晓婕 李玉霞 《实用医学杂志》 CAS 北大核心 2017年第21期3631-3634,共4页
目的将微阵列检测技术应用于早期胚胎停育患者流产组织染色体分析,探讨其在胚胎停育遗传学病因分析中的应用价值。方法收集273例确诊为胚胎停育并行人工流产患者的流产组织,进行微阵列检测。结果 273例早期胚胎停育患者中,结果阳性者占4... 目的将微阵列检测技术应用于早期胚胎停育患者流产组织染色体分析,探讨其在胚胎停育遗传学病因分析中的应用价值。方法收集273例确诊为胚胎停育并行人工流产患者的流产组织,进行微阵列检测。结果 273例早期胚胎停育患者中,结果阳性者占41.4%。染色体数目异常61例,占22.34%;染色体结构异常43例,包括末端缺失/重复和内部微缺失和微重复,占15.75%;嵌合体9例,占3.3%。结论微阵列检测应用于胚胎停育患者流产组织染色体分析具有较强的特异性,能提供更全面的信息,在遗传学病因诊断和再生育风险评估中有较好的应用价值。 展开更多
关键词 胚胎停育 微阵列检测 拷贝数变异
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纳米荧光小球标记在蛋白质微阵列检测中的应用研究 被引量:4
2
作者 刘海波 庄峙厦 +4 位作者 陈成祥 黄荣夫 谭芳 鄢庆枇 王小如 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1227-1230,共4页
研究了不经分离、一次性制备氨基化联吡啶钌掺杂的双层二氧化硅纳米小球的方法。实验证明该纳米小球尺寸均匀,光稳定性、水溶性好,分散稳定。通过简单的偶联反应后,它能有效的和蛋白质结合,结合后的蛋白能保持其生物活性。以此纳米荧光... 研究了不经分离、一次性制备氨基化联吡啶钌掺杂的双层二氧化硅纳米小球的方法。实验证明该纳米小球尺寸均匀,光稳定性、水溶性好,分散稳定。通过简单的偶联反应后,它能有效的和蛋白质结合,结合后的蛋白能保持其生物活性。以此纳米荧光小球为标记物,应用于蛋白质微阵列的定量检测,结果发现其效果明显优于相同条件下以异硫氰酸荧光素(FITC)为标记物的定量结果,检出限可以达到3.5 mg/L。 展开更多
关键词 纳米荧光小球 蛋白质微阵列 蛋白检测
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胎儿腭裂的二维结合三维超声诊断及染色体微阵列检测分析
3
作者 徐春芳 《中外医学研究》 2022年第5期79-82,共4页
目的:分析二维结合三维超声诊断及染色体微阵列检测分析(CMA)对胎儿腭裂的临床价值。方法:回顾性分析2019年4月-2020年6月汉川市妇幼保健院二维或三维超声检查发现20例腭裂胎儿的临床资料,对20例腭裂胎儿均进行CMA检测,记录二维、三维... 目的:分析二维结合三维超声诊断及染色体微阵列检测分析(CMA)对胎儿腭裂的临床价值。方法:回顾性分析2019年4月-2020年6月汉川市妇幼保健院二维或三维超声检查发现20例腭裂胎儿的临床资料,对20例腭裂胎儿均进行CMA检测,记录二维、三维超声检出率;对CMA检出胎儿分析其超声表现及染色体微阵列特征。结果:20例腭裂患儿二维超声检出11例(55.00%),三维超声检出18例(90.00%),二维超声与三维超声检出率比较,差异有统计学意义(P<0.05)。20例腭裂胎儿CMA检出结果为,20例腭裂胎儿中有6例(30.00%)存在拷贝数变化(CNVs)异常,其中4例(20.00%)CNVs存在致病性,2例(10.00%)CNVs与腭裂关系未明。结论:产前对腭裂胎儿进行筛查时,二维超声显示不明,或显示唇裂,可进一步用三维超声排查胎儿腭裂情况。而CMA在技术分析是胎儿腭裂诊断手段的有力补充,可提高腭裂诊断率,尤其是当腭裂伴有其他器官病变时,CNVs发现率更高。 展开更多
关键词 胎儿腭裂 二维超声 三维超声 染色体微阵列检测
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基于微阵列的染色体基因组检测技术在复发性流产诊断中的应用 被引量:1
4
作者 秦爽 肖青 《实用妇科内分泌电子杂志》 2021年第8期22-26,共5页
目的运用基于微阵列的染色体基因组检测技术(CMA)对复发性流产患者的胚胎组织进行染色体检测,探讨CMA对复发性流产的诊断作用及其应用价值。方法选取51例复发性流产患者,收集流产的胚胎组织,并提取每份标本的完整基因组DNA进行CMA检测... 目的运用基于微阵列的染色体基因组检测技术(CMA)对复发性流产患者的胚胎组织进行染色体检测,探讨CMA对复发性流产的诊断作用及其应用价值。方法选取51例复发性流产患者,收集流产的胚胎组织,并提取每份标本的完整基因组DNA进行CMA检测。结果51例患者绒毛组织进行染色体分析,其中13例(25.49%)未见异常,9例(17.65%)呈多态性,29例(56.86%)有异常。在染色体异常的病例中,染色体的数目异常共计18例(35.29%),其中,最常见数目异常发生在16、21、15及X染色体;染色体结构异常总计10例(19.61%),染色体数目合并结构异常1例(1.96%)。染色体基因组拷贝数变异(CNV)总计11例,在所有染色体异常的类型中占比37.93%,其中常染色体发生基因拷贝数变异共10例,X染色体CNV1例;致病性CNV4例,意义不明确的CNV7例。结论胚胎早期发生染色体异常是导致复发性流产的主要发病原因之一,其中胚胎的染色体数目异常是最为常见的类型。染色体三体是最常见的胚胎染色体数目异常,且通常发生在16、21、15及X这四种染色体上。CMA检测技术将复发性流产的胚胎染色体诊断和分析提高到了基因组水平,具有高分辨率、自动化、程序化全基因组扫描的优势,然而,对于没有发生基因组拷贝数变异的胚胎组织染色体的畸变,CMA则具有一定的局限性,需要进一步进行G显带和FISH等技术检测。 展开更多
关键词 复发性流产 基于微阵列的染色体基因组检测技术 基因组拷贝数变异
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不同检测方法在羊水细胞性染色体嵌合产前诊断中的应用比较 被引量:9
5
作者 周静 周冉 +5 位作者 王玉国 李璃 刘安 季修庆 王艳 许争峰 《现代妇产科进展》 CSCD 北大核心 2021年第2期92-95,共4页
目的比较不同产前羊水检测技术的性染色体检测结果,评估不同检测方法对检测结果的影响,指导临床工作中正确认识各项检测结果的临床意义。方法对羊水细胞行染色体核型分析提示为性染色体嵌合体的标本,进行分子生物学检测,比较不同检测方... 目的比较不同产前羊水检测技术的性染色体检测结果,评估不同检测方法对检测结果的影响,指导临床工作中正确认识各项检测结果的临床意义。方法对羊水细胞行染色体核型分析提示为性染色体嵌合体的标本,进行分子生物学检测,比较不同检测方法提示的性染色体的结果。结果核型分析提示为性染色体嵌合体的22例孕妇的23例标本中,多重连接探针扩增技术(MLPA)检测了20例,染色体微阵列检测(CMA)检测了9例,荧光原位杂交技术(FISH)检测了4例,11例标本核型结果与分子生物学检测结果一致,12例标本核型结果与分子生物学检测结果不一致。结论经典的羊水细胞染色体核型分析技术作为传统认为的“金标准”在性染色体嵌合体的检测中,其检测结果并不准确,可能原有部分细胞的丢失或者优势生长,甚至异常细胞的分裂和异常细胞类型的获得,需要选择不同的技术组合,综合分析得出结论,以提供更准确的临床信息,指导产前诊断和临床咨询。 展开更多
关键词 产前诊断 染色体核型分析 多重连接探针扩增技术 染色体微阵列检测 荧光原位杂交技术
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一种新型免疫层析技术在临床乳腺癌Her-2蛋白定量检测中的应用 被引量:1
6
作者 张洁莹 岳洋 +1 位作者 邓桥生 糜军 《中国生物化学与分子生物学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第4期467-473,共7页
建立一种靶点蛋白质快速定量检测方法。在原有侧向流动免疫层析技术的基础上,通过优化层析材料和纳米微球的均一性、改进检测区的检测方法,经逐点扫描技术,建立标准浓度曲线,以达到对临床靶点蛋白质的定量检测。以乳腺癌组织中的Her2表... 建立一种靶点蛋白质快速定量检测方法。在原有侧向流动免疫层析技术的基础上,通过优化层析材料和纳米微球的均一性、改进检测区的检测方法,经逐点扫描技术,建立标准浓度曲线,以达到对临床靶点蛋白质的定量检测。以乳腺癌组织中的Her2表达为例,通过对已知浓度样品的检测,验证本技术方法的准确度大于96%。另外,以蛋白质免疫印迹作为组织中特定蛋白质检测金标准,分析临床肿瘤组织中Her2蛋白的含量,其准确率也达到95.5%,而免疫组织化学方法检测准确率仅为69.58%。新型免疫层析法检测结果与靶向治疗患者的愈后密切相关(P<0.01)。改进后的新型免疫层析方法能够准确地对临床靶点蛋白质进行定量检测,而且结合侧向流动技术的简单、快速和易用性,这种新型检测方法可以广泛应用于临床组织标本、血液标本和体液标本中靶点蛋白质的临场定量检测,在一定程度上可以替代免疫组化技术。 展开更多
关键词 免疫层析 靶点蛋白质定量检测 微阵列检测
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产前诊断del(10)(q11.21q21.2)1例
7
作者 席徐翔 赵琴飞 +5 位作者 张慧娟 陈菁 刘德东 吴相圣 曾韶英 钟田雨 《临床检验杂志》 CAS 2023年第10期799-800,共2页
10q11.2的间质缺失病例和临床结果已有充分报道[1-5]。Holden等[6]描述了1例新发10号染色体长臂间质缺失9岁女孩的病例,其核型为46,XX,del(10)(q11.2q21),临床表现为腭裂、双侧上睑下垂、发育迟缓、轻度张力减退、语言功能缺陷、传导性... 10q11.2的间质缺失病例和临床结果已有充分报道[1-5]。Holden等[6]描述了1例新发10号染色体长臂间质缺失9岁女孩的病例,其核型为46,XX,del(10)(q11.2q21),临床表现为腭裂、双侧上睑下垂、发育迟缓、轻度张力减退、语言功能缺陷、传导性听力损失、智力低下和癫痫发作。同样,Lobo等[7]描述了1例染色体断裂点相似的12个月大的女孩,核型为46,XX,del(10)(q11.1q22.1),临床表现为面部畸形、斜视、精神运动迟缓、肌张力减退及室间隔缺损。在此,本研究报告了1例没有明显表型异常的胎儿及母亲del(10)(q11.21q21.2)。 展开更多
关键词 产前诊断 染色体核型分析 染色体微阵列检测 10q11.2
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小于胎龄且不伴结构异常胎儿染色体异常的研究 被引量:2
8
作者 王丽 符小艳 +2 位作者 洪燕 李载红 彭软 《新医学》 2020年第7期553-557,共5页
目的探讨小于胎龄且不伴结构异常胎儿与染色体和亚显微染色体异常的相关性及其临床结局。方法收集小于胎龄且不伴结构异常胎儿的染色体和亚显微染色体结果,染色体和亚显微染色体的检测方法包括染色体核型检查和染色体微阵列分析。所有... 目的探讨小于胎龄且不伴结构异常胎儿与染色体和亚显微染色体异常的相关性及其临床结局。方法收集小于胎龄且不伴结构异常胎儿的染色体和亚显微染色体结果,染色体和亚显微染色体的检测方法包括染色体核型检查和染色体微阵列分析。所有病例依照是否合并母体因素、小于胎龄儿(SGA)出现孕周(32周前为早期发生、32周后为晚期发生)、合并羊水过少、脐动脉血流频谱进行分析。结果共纳入128例SGA病例,其中合并染色体核型异常6例,染色体倒位2例,致病性拷贝数变异4例,染色体核型异常和致病性拷贝数变异的检出率是7.8%(10/128)。早期发生SGA 71例,晚期发生SGA 57例。早期发生的SGA其染色体核型异常和致病性拷贝数变异的检出率较晚期发生的SGA高(P <0.05)。与晚期发生的SGA比较,早期发生的SGA母亲羊水过少及脐动脉血流频谱异常的发生率较高、分娩较早,其新生儿存活率及出生体质量也较低(P均<0.05)。合并羊水过少SGA的染色体核型异常和致病性拷贝数变异的发生率高于未合并羊水过少SGA(P <0.05)。脐动脉血流频谱正常SGA与染色体和致病性拷贝数变异的发生率与脐动脉血流频谱异常SGA比较差异无统计学意义(P> 0.05)。结论小于胎龄且不伴结构异常胎儿中,早期发生的SGA或合并羊水过少时染色体核型异常和致病性拷贝数变异的可能性明显增加。 展开更多
关键词 染色体微阵列检测 小于胎龄儿 羊水过少 拷贝数变异
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一种基于免疫印迹的高通量肿瘤相关抗原筛选和鉴定方法
9
作者 李江伟 苏幼红 +2 位作者 杨薇薇 晏鹏飞 赵银霞 《细胞与分子免疫学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2008年第11期1116-1117,1120,共3页
目的:为了分析SEREX抗原克隆在异体食管癌患者血清中和健康对照人血清中的反应情况,我们发展了一种基于免疫印迹的高通量肿瘤相关抗原筛选和鉴定方法。方法:采用新发展的基于免疫印迹原理的抗原克隆微阵列检测方法与传统的噬菌斑检测法... 目的:为了分析SEREX抗原克隆在异体食管癌患者血清中和健康对照人血清中的反应情况,我们发展了一种基于免疫印迹的高通量肿瘤相关抗原筛选和鉴定方法。方法:采用新发展的基于免疫印迹原理的抗原克隆微阵列检测方法与传统的噬菌斑检测法对食管癌患者血清中IgG的反应情况进行了比较,并采用两种方法分析了两个SEREX阳性克隆与40例食管癌患者血清和40例健康人血清中的IgG的阳性反应率。通过ELISA对两种方法得到的结果进行了验证。结果:两个阳性克隆在两种检测方法中均与同一例食管癌病人血清起反应,采用抗原克隆微阵列检测方法检测p53和rps3两个克隆阳性率分别为25%和37.5%,采用噬菌斑检测法检测p53和rps3两个克隆阳性率分别为27.5%和37.5%;ELISA方法检测p53和rps3两个克隆阳性率分别为25.0%和31.25%。结论:本研究采用两种方法检测患者血清IgG反应的结果是一致的,抗原克隆微阵列检测方法可以代替传统的噬菌斑筛选法。 展开更多
关键词 抗原克隆微阵列检测方法 噬菌斑筛选法 ELISA 体液免疫 SEREX抗原
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胎儿右位主动弓合并迷走左锁骨下动脉的遗传学研究及临床价值 被引量:5
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作者 潘璐 刘艳秋 +2 位作者 黄婷婷 周吉会 陈佳 《现代妇产科进展》 CSCD 北大核心 2020年第10期770-772,共3页
目的:研究胎儿右位主动脉弓合并迷走左锁骨下动脉(RAA-ALSA)遗传学异常情况,为临床决策提供帮助。方法:选取产前超声检查胎儿RAA-ALSA共99例,其中孤立性RAA-ALSA 51例、非孤立性RAA-ALSA 48例。采集胎儿羊水或脐血标本行传统核型分析及... 目的:研究胎儿右位主动脉弓合并迷走左锁骨下动脉(RAA-ALSA)遗传学异常情况,为临床决策提供帮助。方法:选取产前超声检查胎儿RAA-ALSA共99例,其中孤立性RAA-ALSA 51例、非孤立性RAA-ALSA 48例。采集胎儿羊水或脐血标本行传统核型分析及染色体微阵列(CMA)检测,分析染色体异常检出率的情况,并寻找基因组中拷贝数变异情况。结果:99例胎儿RAA-ALSA中,染色体核型分析检出异常10例(10.10%),CMA检出异常29例(29.29%)。孤立性RAA-ALSA中核型未检出异常,CMA检出异常4例(7.84%)。RAA-ALSA合并心内结构异常18例,核型检出异常4例(8.33%),CMA检出异常10例(20.83%);合并心外结构异常30例,核型检出异常6例(12.5%),CMA检出异常15例(31.25%)。胎儿RAA-ALSA中CMA染色体异常检出率高于核型分析,差异有统计学意义(P<0.05),CMA在非孤立性RAA-ALSA中的染色体异常检出率高于孤立性RAA-ALSA,差异有统计学意义(P<0.05)。结论:孤立性RAA-ALSA染色体异常风险存在;RAA-ALSA合并其他结构异常时,染色体异常风险明显增加;在拷贝数异常情况下CMA比核型具有更高的分辨率及敏感性。当产前超声检查为RAA-ALSA时,应建议行介入性产前诊断,除传统的染色体核型分析外,同时行CMA检测,为进一步的遗传咨询提供指导帮助。 展开更多
关键词 右位主动脉弓 迷走左锁骨下动脉 拷贝数变异 染色体核型分析 染色体微阵列检测
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8例X连锁隐性遗传鱼鳞病患者的遗传学分析
11
作者 林荔 张艳 曾丽娜 《中国现代药物应用》 2022年第24期84-87,共4页
目的对8例X连锁隐性遗传鱼鳞病(异常位点:Xp22.31)患者进行分析,探讨该疾病的可能检出方法及遗传方式。方法8例X连锁隐性遗传鱼鳞病患者,采集其血液或胎儿羊水,应用染色体核型分析及单核苷酸多态性微阵列(SNP-array)检测对患者致病变异... 目的对8例X连锁隐性遗传鱼鳞病(异常位点:Xp22.31)患者进行分析,探讨该疾病的可能检出方法及遗传方式。方法8例X连锁隐性遗传鱼鳞病患者,采集其血液或胎儿羊水,应用染色体核型分析及单核苷酸多态性微阵列(SNP-array)检测对患者致病变异进行分析。结果8例患者经遗传学检测,染色体核型分析均未见异常。SNP-array检测结果提示:Xp22.31区段存在1.6 Mb片段的缺失,内含类固醇硫酸酯酶(STS)(300747)等5个在线人类孟德尔遗传(OMIM)基因,该基因突变和缺失与X连锁隐性遗传鱼鳞病相关。此异常为致病性变异。7例产前诊断病例中胎儿孕期多次彩超均未发现明显异常。结论Xp22.31区段微缺失为X连锁隐性遗传鱼鳞病患者的致病原因,孕期血清学筛查、高通量测序、染色体核型分析及SNP-array等多种检测技术的序贯应用明显提高了此类因染色体微缺失或重复导致的遗传病检出率,为临床遗传咨询提供了依据。 展开更多
关键词 X连锁隐性遗传鱼鳞病 血清学检测 染色体核型分析 单核苷酸多态性微阵列检测 Xp22.31微缺失
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A Strategy to Optimize the Oligo-Probes for Microarray-based Detection of Viruses
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作者 Zhuo ZHOU Zhi-xun DOU +4 位作者 Chen ZHANG Hou-qing YU Yi-jie LIU Cui-zhu ZHANG You-jia CAO 《中国病毒学》 CSCD 2007年第4期326-335,共10页
DNA microarrays have been acknowledged to represent a promising approach for the detection of viral pathogens. However, the probes designed for current arrays could cover only part of the given viral variants, that co... DNA microarrays have been acknowledged to represent a promising approach for the detection of viral pathogens. However, the probes designed for current arrays could cover only part of the given viral variants, that could result in false-negative or ambiguous data. If all the variants are to be covered, the requirement for more probes would render much higher spot density and thus higher cost of the arrays. Here we have developed a new strategy for oligonucleotide probe design. Using type I human immunodeficiency virus (HIV-1) tat gene as an example, we designed the array probes and validated the optimized parameters in silico. Results show that the oligo number is significantly reduced comparing with the existing methods, while specificity and hybridization efficiency remain intact. The adoption of this method in reducing the oligo numbers could increase the detection capacity for DNA microarrays, and would significantly lower the manufacturing cost for making array chips. 展开更多
关键词 探针 微阵列检测 病毒 最优化 寡核苷酸
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一例der(X)t(X;Y)(p22.3;q11.2)胎儿的产前诊断及遗传学分析
13
作者 李剑 董艳玲 +3 位作者 李俊男 骆建云 李春蕾 漆洪波 《中华医学遗传学杂志》 CAS CSCD 2020年第11期1287-1290,共4页
目的对1例无创性DNA检测提示性染色体异常胎儿进行产前诊断和遗传学分析,探讨其病因及遗传学特征。方法综合应用染色体G显带核型分析技术、BoBs(BACs-on-Beads)技术及单核苷酸多态性微阵列(single nucleotide polymorphism array,SNP-ar... 目的对1例无创性DNA检测提示性染色体异常胎儿进行产前诊断和遗传学分析,探讨其病因及遗传学特征。方法综合应用染色体G显带核型分析技术、BoBs(BACs-on-Beads)技术及单核苷酸多态性微阵列(single nucleotide polymorphism array,SNP-array)检测胎儿的染色体结构异常,并对其父母的外周血染色体核型进行分析。结果G显带核型分析显示,胎儿及其母亲染色体核型为46,X,add(X)(p22),而父亲外周血染色体核型未见异常。羊水BoBs结果提示胎儿染色体存在Xp22的缺失,且有Yq11片段存在。SNP-array检测进一步明确,胎儿及其母亲的衍生X染色体短臂存在7.13 Mb的缺失(p22.33p22.31,608021-7736547),同时附着有Y染色体长臂12.52 Mb的拷贝(q11.221q11.23,16271151-28788643)。结论胎儿衍生X染色体遗传自母亲,核型为46,X,der(X)t(X;Y)(p22.3;q11.2)mat。多种产前诊断方法的联合应用,有利于确定胎儿染色体结构异常类型及来源,为预测胎儿发生畸形的风险及后续妊娠的选择提供帮助。 展开更多
关键词 Xp/Yq易位 单核苷酸多态性微阵列检测技术 产前诊断 BoBs技术
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一个与人鼻咽癌相关新基因的克隆 被引量:21
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作者 何志巍 谢鹭 +7 位作者 许亮国 蓝轲 刘卫东 张玲 任彩萍 史建凌 周文 姚开泰 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第11期1168-1173,共6页
利用高密度cDNA微阵列表达检测技术,筛选出在成人正常鼻咽组织高表达而在成人鼻咽低分化鳞状细胞癌组织中低表达的EST N27741,用 RT-PCR技术证实之,进而由该EST克隆出长度为1096bp的新基因.利用生物信... 利用高密度cDNA微阵列表达检测技术,筛选出在成人正常鼻咽组织高表达而在成人鼻咽低分化鳞状细胞癌组织中低表达的EST N27741,用 RT-PCR技术证实之,进而由该EST克隆出长度为1096bp的新基因.利用生物信息学分析发现,该序列含有完整的阅读框架,编码 256个氨基酸,在5’端起始密码子上游有终止密码子TAA,3’端有加尾信号AATAAA和 polyA尾.该新序列在非冗余的核酸序列数据库中比较,无同源的已知基因存在,被认为是一个新的与鼻咽癌相关的基因. 展开更多
关键词 鼻咽癌 基因克隆 致病基因 cDNA微阵列表达检测
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IC晶圆高效稳定传输原理与实现 被引量:2
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作者 韩海军 刘延杰 +1 位作者 荣伟彬 孙立宁 《中国基础科学》 2013年第4期21-27,共7页
在超大规模集成电路(IC)制造过程中,晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输,晶圆传输能力对整个IC产业的发展至关重要。晶圆传输机器人是IC制造领域的关键设备之一,承担着晶圆定位与快速、平稳搬运任务。随着IC制造向着大尺寸(直径≥300mm)... 在超大规模集成电路(IC)制造过程中,晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输,晶圆传输能力对整个IC产业的发展至关重要。晶圆传输机器人是IC制造领域的关键设备之一,承担着晶圆定位与快速、平稳搬运任务。随着IC制造向着大尺寸(直径≥300mm)晶圆与小线宽(≤32nm)方向发展,晶圆生产线工序更集中,加工速度更快,工作环境更洁净,这对晶圆传输机器人性能提出了更高要求。为了实现大尺寸超薄晶圆的高效稳定传输,我们从晶圆传输机器人精确平稳轨迹跟踪控制、面向晶圆传输的微阵列传输面设计以及接触面微力与粘滑检测触觉传感器设计等3个方面开展了研究。针对现有晶圆传输机器人样机中各个运动关节不同步和末端手的振动问题,我们提出把交叉耦合控制技术和输入整形控制同时应用到平面关节型晶圆传输机器人中,达到减小轨迹跟踪时的轮廓误差和消除柔性传动环节引起的末端执行器振动的目的,实现了机器人精确平稳轨迹跟踪控制。针对目前凸点支承式末端执行器传输晶圆时摩擦系数较小、传输效率低下的不足,我们提出了一种基于微米级垂直微阵列结构的新型晶圆传输面设计方法,实验表明该方法有效提高了晶圆传输加速度,可显著提高晶圆传输效率。针对大尺寸晶圆高效可靠传输过程中接触信息检测需求,我们提出了一种新型的晶圆传输接触面微力与粘滑传感器系统方案,即利用压敏导电墨(PSCI)的压阻效应实现三维力测量以及利用电磁感应原理实现粘滑检测,并通过实验验证了该方法的可行性。本文依次从问题提出、国内外研究现状分析、研究特色与实验验证等方面分别对上述3个部分的研究内容进行了分析与阐述。最后,结合上述分析,本文对现阶段的研究成果进行了总结,并提出了下一步的研究设想。 展开更多
关键词 晶圆传输机器人 轨迹控制 微阵列设计微力与粘滑检测 触觉传感器
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