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微面形貌观测物镜的光学系统误差分析 被引量：1
1
作者 宋霄 刘娜 +3 位作者 井文才 贾大功 张红霞 张以谟 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期2989-2992,共4页
提出了一种非接触内窥式微面形貌探测镜,分析了其光学系统的装配误差对实际成像位置的影响.利用几何光学原理,计算了三种装配误差与实际成像位移之间的关系.给出了满足CCD成像分辨率要求的位置调整范围,推导出透镜的装配误差范围,达到... 提出了一种非接触内窥式微面形貌探测镜,分析了其光学系统的装配误差对实际成像位置的影响.利用几何光学原理,计算了三种装配误差与实际成像位移之间的关系.给出了满足CCD成像分辨率要求的位置调整范围,推导出透镜的装配误差范围,达到成像清晰、系统分辨率高的目的. 展开更多
关键词 微面形貌观测物镜 光学系统 装配误差 分辨率
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