大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制

针对用于标定和检测的大型精密转台(要求其定位误差≤±0.5″),研制了高精度角度微驱动装置。介绍了转台的总体结构,给出了角度微驱动装置的驱动原理和构成。该角度微驱动装置主要通过一个角位移转换机构把精密直线位移转化为精密角位移来实现高的角度分辨率,其在驱动转台旋转的过程中几乎不给转台带来轴向力和径向力,因此不影响转台的轴系精度。为了满足定位要求,转台设计采用了粗精结合、二次定位的方法,即先采用力矩电机进行粗定位,然后使用角度微驱动装置来实现精定位。最后,从理论上计算了角度微驱动装置的分辨率并进行了测试和应用验证,证明此角度微驱动装置的分辨率优于0.08″,满足转台定位精度要求。

微小型任意行程电磁冲击式纳米级步距驱动装置及其控制技术的研究

基于对置于平面上物体端面的轻轻敲击即能实现对物体位置精确调节的原理，研制出了小型任意行程电磁冲击式纳米级进给驱动装置、设计并组建了与之配套的驱动控制源和相应的检测系统。针对本项目研究的关键技术、即电磁冲击力的获取和控制，进行了一系列初步试验．试验结果表明：该微步距驱动装置的每一次冲击能将质量为０．３２５ｋｇ的物块移动约３９ｎｍ。

微装配的若干关键技术

随着微机电系统的快速发展 ,对微装配技术的需求日益迫切。详细地综述了近年来微装配技术发展的几个主要方面 ,包括微装配机理、视觉伺服微装配的结构、微夹持器等等。

便携式电火花穿孔机性能研究

建立了便携式电火花穿孔机系统以及放电检测和系统性能测试环节；研制了相应的微进给伺服控制系统。试验结果表明，该系统能满足小孔加工的需要。