微3K-2型行星齿轮减速器中微齿轮啮合模型和参数计算

提出了微3K-2型行星齿轮减速器设计中,模数小于0.08的微齿轮传动啮合模型和参数计算公式.并对模数分别为0.08、0.06、0.04、0.03,太阳轮、行星轮、固定内齿轮、旋转内齿轮齿数分别为15、11、36、39的微齿轮进行了参数计算和比较.根据计算结果完成了模数0.06的微3K-2型行星齿轮减速器的研制.该减速器与电磁型微电动机相配,可降低微电动机的转速、减小微电动机的惯量。

基于LIGA技术的3K-2型微行星齿轮减速器的设计和制造

使用同步辐射光和 X射线掩模板的 L IGA技术能够制造大深宽比的三维微结构。详细讨论了基于该技术的微行星齿轮减速器的设计和制造 ,包括微行星齿轮减速器的设计、微齿轮 X射线掩模板的 CAD技术、X射线深层光刻、微齿轮的微电铸和微复制 ,以及微行星齿轮减速器的微装配。目前已经得到了金属镍的厚度为 40 0μm的太阳轮、行星轮 ,厚度为 2 0 0μm的固定内齿轮、旋转内齿轮 ,其齿数分别为 1 5、1 1、3 6、3 9。用这些微齿轮装配成了一台模数为 0 .0 3 mm、减速比为 44.2、最大外径为 2 mm的微行星齿轮减速器 ,并将其成功地应用在直径为 2 mm的电磁型微马达上。