全介质硅基微腔结构的模拟与实验研究

硅基微腔结构在许多光学与光电子器件领域都有重要的应用.针对微腔结构在热光伏系统中的可能应用,结合理论与实验进行了研究.通过利用等离子体增强化学气相沉积技术制备了非晶氮化硅与氮氧化硅薄膜,获得相应的光学常数,然后利用软件模拟研究不同结构的微腔的光学特性,进而制备一维光子微腔结构,在中心波长为1.1μm和2.0μm处分别获得81%和56%的选择性透射率;同时,对薄膜吸收对微腔特性的影响进行了分析.

分视场成像光谱仪

设计了一种地面分辨率为5 m(飞行平台20 km),视场角为60°×60°的成像光谱仪系统。该系统采用了微透镜扫描器和微 F-P 腔可调协滤波器作为整个系统的核心器件。首先60°×60°视场分为四部分,然后微透镜扫描器将这四部分视场分次成像到 CCD 上,通过这种方法,不但获得了大视场,同时还保证了高分辨率。另一方面,微 F-P 腔可调协滤波器替代了传统的切换滤光片的方式,只要通过控制微 F-P 腔的腔长就能实现对特定波长的选择。