基于湿法清洗中快排槽节水性能的优化研究

现有的清洗设备中,当完成晶圆的清洗工艺后,再次利用快速排水的工艺方法会消耗大量水资源。针对这一问题,探讨了一种适用于该类工艺流程的节水设计方案。通过改进排放阀的结构,将废水排放与回收功能集成相结合,使得去离子水的利用率得到了提高,不仅节约了成本,并且避免了资源的浪费。

太阳能电池单晶制绒与酸洗连体设备研究

太阳能电池单晶制绒与酸洗连体设备主要为了单晶制绒后再进行酸洗而设计的关键设备,可提供多种清洗工艺的选择。通过对单晶制绒后再进行酸洗的关键部件的设计,解决了由于制绒后再酸洗溶液挥发性对设备的腐蚀问题,在太阳能光伏领域中得到了广泛的应用,取得了极大的社会经济效益。