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热循环离子渗氮的快渗机制 被引量:1
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作者 邓光华 王慧霞 陈永毅 《福州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1999年第2期67-71,共5页
根据热循环离子渗氮(INTC)过程渗层生长动力学特性和表面相组分的变化规律,分析了辉光放电等离子体对热循环渗氮的增强作用,提出了循环变温过程相的脱溶和离子轰击形成的表面γ'相导致内扩散速度加快的机制,指出INTC... 根据热循环离子渗氮(INTC)过程渗层生长动力学特性和表面相组分的变化规律,分析了辉光放电等离子体对热循环渗氮的增强作用,提出了循环变温过程相的脱溶和离子轰击形成的表面γ'相导致内扩散速度加快的机制,指出INTC的深层快渗效果系集离子渗氮与热循环渗氮二者之长所致. 展开更多
关键词 离子 扩散 热循环离子 快渗机制
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