快速退火炉热源及其温度均匀性设计

根据快速退火炉加热系统的组成,利用热量传递的基本理论定性地分析了满足热处理工艺指标时加热系统所需的热功率以及影响快速退火系统温度均匀性的因素。在此基础上提出了热源分区的设计思想。

快速退火炉高温计的校温

作为半导体生产中的一种重要设备,快速退火炉需要实现精确、可靠的温度控制。它通常使用辐射式高温计来检测温度。在使用过程中,由于诸多原因,需要对高温计进行校温。基于某型进口快速退火炉,分析了其高温计的校温方法。介绍了热电偶和熔点测试采样方法,并采用这两种方法丰富了采样数据。通过线性计算估算了1000~1500℃范围内的校温数据;基于曲线拟合进行了数据采样,得到了更加准确的校温结果。通过比较,分析了两种校温方法各自的优缺点。结果表明,线性计算校温法更适用于1100℃以下的校温;曲线拟合校温法更适用于1100℃以上的校温。

辊底式快速等温球化连续退火炉及其工艺

辊底式油电复合加热快速等温球化连续退火炉具有快速等温球化退火工艺规程 ,保证金相显微组织级别明显改善 ,有利于切削加工 ,使最终热处理成品质量提高。附图 1幅 ,表 2个。