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扩散泵加热恒功率控制仪
被引量:
1
1
作者
于炳琪
《真空》
CAS
北大核心
1999年第5期26-28,共3页
用单片机控制双向可控硅的恒功率控制仪用于控制扩散泵加热,保证了扩散泵在最佳加热功率条件下长时间稳定工作。该控制仪可实现多路控制,具有效率高、体积小、重量轻、成本低的特点。文中介绍了该仪器的工作原理、设计方案和主程序流...
用单片机控制双向可控硅的恒功率控制仪用于控制扩散泵加热,保证了扩散泵在最佳加热功率条件下长时间稳定工作。该控制仪可实现多路控制,具有效率高、体积小、重量轻、成本低的特点。文中介绍了该仪器的工作原理、设计方案和主程序流程图。
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关键词
恒功率控制仪
扩散泵
双向可控硅
单片机
下载PDF
职称材料
题名
扩散泵加热恒功率控制仪
被引量:
1
1
作者
于炳琪
机构
东南大学电子工程系
出处
《真空》
CAS
北大核心
1999年第5期26-28,共3页
文摘
用单片机控制双向可控硅的恒功率控制仪用于控制扩散泵加热,保证了扩散泵在最佳加热功率条件下长时间稳定工作。该控制仪可实现多路控制,具有效率高、体积小、重量轻、成本低的特点。文中介绍了该仪器的工作原理、设计方案和主程序流程图。
关键词
恒功率控制仪
扩散泵
双向可控硅
单片机
分类号
TB752.42 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扩散泵加热恒功率控制仪
于炳琪
《真空》
CAS
北大核心
1999
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