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扩散泵加热恒功率控制仪 被引量:1
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作者 于炳琪 《真空》 CAS 北大核心 1999年第5期26-28,共3页
用单片机控制双向可控硅的恒功率控制仪用于控制扩散泵加热,保证了扩散泵在最佳加热功率条件下长时间稳定工作。该控制仪可实现多路控制,具有效率高、体积小、重量轻、成本低的特点。文中介绍了该仪器的工作原理、设计方案和主程序流... 用单片机控制双向可控硅的恒功率控制仪用于控制扩散泵加热,保证了扩散泵在最佳加热功率条件下长时间稳定工作。该控制仪可实现多路控制,具有效率高、体积小、重量轻、成本低的特点。文中介绍了该仪器的工作原理、设计方案和主程序流程图。 展开更多
关键词 恒功率控制仪 扩散泵 双向可控硅 单片机
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