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PVD薄膜的粘附性和塑韧性评估
被引量:
1
1
作者
刘长清
金柱京
+2 位作者
于力
于志明
吴维(山文)
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第4期B173-B178,共6页
采用物理气相沉积(PVD)技术,在单面抛光的缺口拉伸试样上生长Ti和TiN薄膜,采用扫描电镜(SEM)观察膜面以0.05mm/min变形速度拉伸变形行为并记录和确定膜的开裂和脱落时的临界伸长量δ_c和δ_s,用来评价薄膜的粘附性和塑韧性;相同的膜/基...
采用物理气相沉积(PVD)技术,在单面抛光的缺口拉伸试样上生长Ti和TiN薄膜,采用扫描电镜(SEM)观察膜面以0.05mm/min变形速度拉伸变形行为并记录和确定膜的开裂和脱落时的临界伸长量δ_c和δ_s,用来评价薄膜的粘附性和塑韧性;相同的膜/基体系进行划痕实验,确定其临界载荷L_c并评价膜的粘附性,结果表明前者较好地说明了膜与基体粘附性和膜自身的塑韧性,后者只能评价膜的粘附性,而且两种方法评价粘附性有良好的一致性,此外还比较了几种涂层样品的拉伸曲线并讨论了薄膜的塑韧性和粘附性对基材屈服极限的影响。
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关键词
PVD薄膜
粘附性
塑韧性
恒速位抻法
下载PDF
职称材料
题名
PVD薄膜的粘附性和塑韧性评估
被引量:
1
1
作者
刘长清
金柱京
于力
于志明
吴维(山文)
机构
中国科学院金属腐蚀与防护研究所腐蚀科学开放研究实验室
出处
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992年第4期B173-B178,共6页
文摘
采用物理气相沉积(PVD)技术,在单面抛光的缺口拉伸试样上生长Ti和TiN薄膜,采用扫描电镜(SEM)观察膜面以0.05mm/min变形速度拉伸变形行为并记录和确定膜的开裂和脱落时的临界伸长量δ_c和δ_s,用来评价薄膜的粘附性和塑韧性;相同的膜/基体系进行划痕实验,确定其临界载荷L_c并评价膜的粘附性,结果表明前者较好地说明了膜与基体粘附性和膜自身的塑韧性,后者只能评价膜的粘附性,而且两种方法评价粘附性有良好的一致性,此外还比较了几种涂层样品的拉伸曲线并讨论了薄膜的塑韧性和粘附性对基材屈服极限的影响。
关键词
PVD薄膜
粘附性
塑韧性
恒速位抻法
Keywords
PVD film
constant rate pulling test
scratch test
adhesion
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
PVD薄膜的粘附性和塑韧性评估
刘长清
金柱京
于力
于志明
吴维(山文)
《金属学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1992
1
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职称材料
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