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超导转子磁悬浮结构磁耦合特性及承载能力分析 被引量:1
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作者 张源 胡新宁 +5 位作者 崔春艳 崔旭 牛飞飞 黄兴 王路忠 王秋良 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第12期286-295,共10页
高速旋转的超导转子可用作高精度角速度传感器,其转子结构的质量偏心和球面误差是限制其精度提升的关键因素,转子结构越复杂,其制作和装配过程造成的质量偏心和球面误差就越大,则其测量角速度的精度越低.基于此介绍了一种转子结构简单... 高速旋转的超导转子可用作高精度角速度传感器,其转子结构的质量偏心和球面误差是限制其精度提升的关键因素,转子结构越复杂,其制作和装配过程造成的质量偏心和球面误差就越大,则其测量角速度的精度越低.基于此介绍了一种转子结构简单的超导转子磁悬浮结构,并通过有限元方法对其磁悬浮结构的磁耦合特性进行研究,分析其对超导转子磁支承力的影响.然后基于磁路原理对磁支承结构的磁路建模,提出了一种对超导转子磁支承结构承载能力分析的方法,并设计出一种优化超导转子磁支承结构承载能力的方案.研究结果为超导转子磁悬浮系统的结构设计和优化,及其承载能力的分析和优化提供参考. 展开更多
关键词 超导磁悬浮 超导转子 磁场耦合 悬浮结构承载能力
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硅微机械悬浮结构电感的设计与制作工艺研究 被引量:1
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作者 丁勇 刘泽文 +1 位作者 刘理天 李志坚 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第11期1597-1600,共4页
本文系统分析了影响平面螺旋电感Q值的主要因素 ,并制作出一种应用于射频通信的硅微机械悬浮结构电感 .在考虑趋肤效应、涡流损耗等高频电磁场效应对电感Q值的影响后 ,获得了微机械电感的简化电学模型 ,得到了具有较高Q值电感的优化结... 本文系统分析了影响平面螺旋电感Q值的主要因素 ,并制作出一种应用于射频通信的硅微机械悬浮结构电感 .在考虑趋肤效应、涡流损耗等高频电磁场效应对电感Q值的影响后 ,获得了微机械电感的简化电学模型 ,得到了具有较高Q值电感的优化结构 .在制作硅微机械电感的工艺过程中 ,采用多孔硅作为牺牲层材料 ,将螺旋结构铝线圈制作在二氧化硅薄膜上 ,在使用添加了硅粉和过硫酸铵的TMAH溶液释放牺牲层之后 ,得到设计值为 4nH的悬浮结构微机械平面螺旋电感 .实验结果证明 ,整个工艺流程可靠 ,并与CMOS工艺兼容 . 展开更多
关键词 微机械 悬浮结构 电感 制作工艺 Q值 多孔硅 牺牲层 集成电路 无线通信
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用升华法释放表面硅工艺中的悬浮结构
3
作者 郝一龙 武国英 +1 位作者 吴琳 徐嘉佳 《微纳电子技术》 CAS 2002年第9期22-27,共6页
介绍了在谐振器结构释放后的干燥过程中,采用的一种有效的、防粘附的方法———升华法。在升华法的基础上,开发了充分置换升华法,对若干种释放方法进行实验、比较,确定了充分置换法的更优性;并找出了影响分离长度的因素,为提高结构释放... 介绍了在谐振器结构释放后的干燥过程中,采用的一种有效的、防粘附的方法———升华法。在升华法的基础上,开发了充分置换升华法,对若干种释放方法进行实验、比较,确定了充分置换法的更优性;并找出了影响分离长度的因素,为提高结构释放产品率奠定了基础。 展开更多
关键词 升华法 表面硅 悬浮结构 表面工艺 粘附
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〈100〉正面开口快速湿法腐蚀释放悬浮结构的研究
4
作者 马铁英 李劲松 梁培 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期58-63,共6页
设计了三种正向开口方式为〈100〉向折线型、长条型、长短条复合型的悬浮膜系。在水浴温度80°C条件下,120min后,〈100〉开口膜系由50%KOH溶液各向异性腐蚀快速释放成形,获得完整无粘连的悬浮结构。在〈100〉快速腐蚀释放原理基础上... 设计了三种正向开口方式为〈100〉向折线型、长条型、长短条复合型的悬浮膜系。在水浴温度80°C条件下,120min后,〈100〉开口膜系由50%KOH溶液各向异性腐蚀快速释放成形,获得完整无粘连的悬浮结构。在〈100〉快速腐蚀释放原理基础上,制备了基于〈100〉开口的测辐射热计与红外热电堆悬浮单元结构。 展开更多
关键词 正面腐蚀 悬浮结构 各向异性
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抗磁稳定悬浮结构的阻尼特性研究
5
作者 王永坤 张家祥 +1 位作者 孙朝业 苏宇锋 《半导体光电》 CAS 北大核心 2022年第6期1080-1086,共7页
研究了一种抗磁稳定悬浮结构的涡流阻尼力的阻尼特性。建立了求解涡流阻尼及阻尼系数的数学模型,借助MATLAB和COMSOL 5.6通过三维电磁场有限元仿真分析方法研究了涡流阻尼的特性以及外部激励频率、振幅、悬浮磁体厚度、导体板厚度等对... 研究了一种抗磁稳定悬浮结构的涡流阻尼力的阻尼特性。建立了求解涡流阻尼及阻尼系数的数学模型,借助MATLAB和COMSOL 5.6通过三维电磁场有限元仿真分析方法研究了涡流阻尼的特性以及外部激励频率、振幅、悬浮磁体厚度、导体板厚度等对涡流阻尼的影响,给出了其变化规律。结果表明:增大磁体半径与厚度、增大抗磁体边长和厚度以及减小悬浮间隙都可增大涡流阻尼。除此之外,增大外部激励的振幅与频率也可以增大涡流阻尼,但增大激励频率时涡流阻尼会出现相位滞后现象。该结果对于分析研究抗磁悬浮结构的振动特性具有一定的参考意义。 展开更多
关键词 抗磁悬浮结构 涡流阻尼 仿真分析 阻尼特性
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探究悬浮结构二灰碎石基层的施工工艺及质量控制 被引量:2
6
作者 纪新颖 《绿色环保建材》 2017年第2期106-107,共2页
悬浮结构二灰碎石基层是公路项目工程施工中,非常重要一项内容,主要是半刚性结构的层为主。由于悬浮结构二灰碎石基层具有一定复杂性,存在着很多的难点,这样导致对悬浮结构二灰碎石基层施工工艺以及质量等方面的控制,就会带来一定程度... 悬浮结构二灰碎石基层是公路项目工程施工中,非常重要一项内容,主要是半刚性结构的层为主。由于悬浮结构二灰碎石基层具有一定复杂性,存在着很多的难点,这样导致对悬浮结构二灰碎石基层施工工艺以及质量等方面的控制,就会带来一定程度上的影响。因此,本文对悬浮结构二灰碎石基层施工工艺以及质量控制的一些相关内容,进行了简要的分析和阐述,希望对我国公路的发展,给予一定程度上的帮助。 展开更多
关键词 悬浮结构二灰碎石基层 施工工艺 施工质量
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悬浮结构二灰碎石基层的施工工艺及质量控制 被引量:1
7
作者 王文杰 邸风雷 +1 位作者 刘胜军 赵斌 《内蒙古公路与运输》 2003年第S1期55-56,共2页
通过二灰碎石基层的施工实践 ,总结了悬浮结构二灰碎石基层的施工工艺以及各项技术指标的质量控制措施 。
关键词 悬浮结构 二灰碎石 基层 施工 质量
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空间悬浮结构
8
作者 秦杰 《城市住宅》 2015年第4期113-116,共4页
为满足不同工程领域对空间结构跨度、净空及拆装方便性、经济性的新要求,借鉴大型飞艇和浮空器受力原理,提出一种新型结构体系——大跨度空间悬浮结构。通过系列探索性模型试验,对空间悬浮结构的制作及安装等过程进行探索,对空间悬浮结... 为满足不同工程领域对空间结构跨度、净空及拆装方便性、经济性的新要求,借鉴大型飞艇和浮空器受力原理,提出一种新型结构体系——大跨度空间悬浮结构。通过系列探索性模型试验,对空间悬浮结构的制作及安装等过程进行探索,对空间悬浮结构成形过程和力学性能进行了检验。模型试验结果表明,大跨度空间悬浮结构是一种具有发展前景的新型空间结构体系,本文成果可作为大跨度空间悬浮结构研究的基础和借鉴。 展开更多
关键词 空间结构 空间悬浮结构 模型试验
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高温超导磁悬浮引纬结构悬浮稳定性分析
9
作者 彭益 刘越 +2 位作者 王意 李成缘 张成俊 《纺织工程学报》 2024年第3期62-73,共12页
针对现有电磁投梭技术能量利用率低、引纬幅宽提升有限等问题,提出了一种基于超导磁悬浮的引纬方式,基于高温超导体的迈斯纳效应高温超导片梭能实现其自稳定悬浮,再通过设计的电磁线圈轨道产生行波磁场驱动片梭,从而实现增加片梭织机引... 针对现有电磁投梭技术能量利用率低、引纬幅宽提升有限等问题,提出了一种基于超导磁悬浮的引纬方式,基于高温超导体的迈斯纳效应高温超导片梭能实现其自稳定悬浮,再通过设计的电磁线圈轨道产生行波磁场驱动片梭,从而实现增加片梭织机引纬幅度。由于引纬结构中永磁轨道间磁场存在相互干扰使轨道产生的磁场非对称分布,导致超导片梭两侧超导体悬浮力不相同,超导片梭不能稳定悬浮在轨道上方,后续引纬过程不能进行。为了保证引纬前片梭悬浮稳定性,通过有限元仿真软件分析超导片梭受到的悬浮力,并通过数值计算对永磁轨道磁场进行求解,从而研究磁场分布与超导片梭悬浮稳定性之间的影响。研究表明,轨道上方磁场分布对称性越高,超导片梭悬浮稳定性越高。通过数值计算方法确定了永磁轨道之间的距离为30-40 mm,即永磁轨道之间磁场发生干扰的临界距离,磁场分布具有很强对称性,超导片梭能够稳定悬浮于永磁轨道上方,并且能使超导片梭尺寸最小。 展开更多
关键词 高温超导磁悬浮引纬结构 宽幅引纬 引纬悬浮稳定性 高温超导磁悬浮 磁场分布 数值计算
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辐射处理对大豆悬浮细胞超微结构的影响 被引量:6
10
作者 陈锦清 胡张华 +4 位作者 吕慧能 金卫 吴关庭 郎春秀 刘智宏 《浙江农业学报》 CSCD 1997年第5期240-245,共6页
正常大豆Peking品种悬浮细胞具有典型的细胞结构,但经500拉德γ射线照射后,细胞结构受到辐射损伤,表现为质体、线粒体等细胞器相对减少,核膜扭曲、模糊。但经1个月继代培养后,细胞恢复正常的结构和功能。5000拉德γ... 正常大豆Peking品种悬浮细胞具有典型的细胞结构,但经500拉德γ射线照射后,细胞结构受到辐射损伤,表现为质体、线粒体等细胞器相对减少,核膜扭曲、模糊。但经1个月继代培养后,细胞恢复正常的结构和功能。5000拉德γ射线能使大豆悬浮细胞产生致死损伤,导致细胞器解体和细胞死亡。本实验未能观察到辐射击穿细胞的直接证据,但出现膜渗透性改变、质壁分离及其内质网膨大等现象,间接证明了细胞自身防御体系被打破。 展开更多
关键词 大豆 辐射处理 超微结构 悬浮结构
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两种海水混养池塘悬浮颗粒物结构及其有机碳库储量
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作者 王璐 赵文 +2 位作者 魏杰 张湾 尹东鹏 《河北渔业》 2023年第4期4-10,共7页
于2021年4月—8月在辽宁省丹东市东港地区选取两个混养池塘,即1^(#)池(海蜇-缢蛏-牙鲆-对虾)和2^(#)池(海蜇-缢蛏-牙鲆-中国明对虾-三疣梭子蟹),对其悬浮颗粒物结构及其有机碳储量进行了研究,旨在为优化养殖模式提供科学依据。结果表明,... 于2021年4月—8月在辽宁省丹东市东港地区选取两个混养池塘,即1^(#)池(海蜇-缢蛏-牙鲆-对虾)和2^(#)池(海蜇-缢蛏-牙鲆-中国明对虾-三疣梭子蟹),对其悬浮颗粒物结构及其有机碳储量进行了研究,旨在为优化养殖模式提供科学依据。结果表明,1^(#)和2^(#)池的总悬浮颗粒物含量分别为44.05±10.36 mg/L和39.38±3.89 mg/L,其中无机悬浮颗粒物占比为71.01%和66.25%,有机悬浮颗粒物则为的28.99%和33.75%。在有机悬浮颗粒物中,腐质及细菌占27.15%和32.93%,浮游植物占0.52%和0.21%,浮游动物占比为1.03%和0.66%。1^(#)池和2^(#)池的总有机碳(TOC)含量分别为8.29±2.53 mg/L和11.43±2.49 mg/L;其中溶解有机碳(DOC)占比为65.45%和61.31%;颗粒有机碳(POC)占比为37.76%和38.69%;细菌及腐质碳占比为35.02%和37.45%;浮游植物碳占比为1.14%和0.30%;浮游动物碳占比为1.60%和0.95%。研究表明,1^(#)池悬浮颗粒物及总有机碳的含量更高,池塘的有机物占比更大,但2^(#)池浮游植物及浮游动物含量较低。 展开更多
关键词 颗粒悬浮结构 有机碳库储量 海水混养池塘
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刺参养殖池塘颗粒悬浮物结构及其沉积作用 被引量:14
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作者 赵文 张义伟 +1 位作者 魏杰 于晓辉 《生态学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第11期5749-5757,共9页
对不投饵刺参养殖池塘的颗粒悬浮物结构及其沉积量和沉积速度进行了研究。结果表明:(1)各池塘总颗粒悬浮物重量(TS)为(73.1±20.5)mg/L,变动于46.0~132.0mg/L之间;颗粒无机物(IS)含量为(50.6±12.6)mg/L,变动于28.5~76.5mg/L... 对不投饵刺参养殖池塘的颗粒悬浮物结构及其沉积量和沉积速度进行了研究。结果表明:(1)各池塘总颗粒悬浮物重量(TS)为(73.1±20.5)mg/L,变动于46.0~132.0mg/L之间;颗粒无机物(IS)含量为(50.6±12.6)mg/L,变动于28.5~76.5mg/L之间,占总颗粒悬浮物的69.13%;浮游生物干重(PZ)为(0.675±0.706)mg/L,变动于0.064~2.814mg/L之间,其中浮游植物干重(DWP)为(0.541±0.622)mg/L,变动于0.062~2.582mg/L之间,浮游动物干重(DWZ)为(0.135±0.200)mg/L,变动于0.002~1.160mg/L之间;颗粒腐质为(21.91±19.59)mg/L,变动于4.18~83.86mg/L之间,占总颗粒悬浮物的比例为29.95%。(2)总颗粒物沉积量为(19.44±16.34)g.m-2.d-1,变动于6.33~91.98g.m-.2d-1之间,沉降速度为(0.30±0.30)m.d-1,变动于0.08~1.63m.d-1之间,新生态颗粒有机物沉积量为(5.09±7.30)g.m-.2d-1,变化于0.14~31.27g.m-.2d-1之间,总颗粒物沉积量和新生态颗粒物沉积量均是底层高于表层。 展开更多
关键词 刺参养殖池塘 悬浮结构 沉积物 沉积量 沉积速度
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盐碱池塘围隔生态系统的悬浮物结构及有机碳库储量 被引量:14
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作者 赵文 董双林 +1 位作者 李德尚 张兆琪 《生态学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第12期2133-2140,共8页
1 998年 4~ 7月对高青盐碱池塘单养鲢和罗非鱼围隔生态系统颗粒悬浮物构成和各有机碳库储量及动态进行了研究。结果表明 ,浮游生物的干重 (PZ)占总颗粒悬浮物干物质 (TS)的 4.2 6%~ 2 5 .97% ,平均 1 2 %。各围隔浮游植物干重(DWP)平... 1 998年 4~ 7月对高青盐碱池塘单养鲢和罗非鱼围隔生态系统颗粒悬浮物构成和各有机碳库储量及动态进行了研究。结果表明 ,浮游生物的干重 (PZ)占总颗粒悬浮物干物质 (TS)的 4.2 6%~ 2 5 .97% ,平均 1 2 %。各围隔浮游植物干重(DWP)平均值变化范围为 0 .1 6~ 0 .70 mg/L,有鱼围隔均比无鱼围隔的大。浮游动物干重 (DWZ)平均值变化范围为0 .3 2~ 2 .81 mg/L,养鲢围隔中最小 ,小于无鱼对照围隔 ,养罗非鱼围隔明显高于养鲢围隔。颗粒悬浮物的灰分含量平均值为 42 .3 8%。溶解有机碳 (DOC)、颗粒有机碳 (POC)库储量平均值分别为 5 .40± 1 .61 mg C/L和 1 .96± 0 .96mg/L。各处理围隔间颗粒有机物的 C/N比的平均值比较接近 ,总平均值为 6.97± 0 .2 4。 TOC、DOC和 POC比例为 1∶ 0 .73∶0 .2 7。浮游生物碳和腐质颗粒碳占 POC的比例的平均值分别为 3 4.65 %和 65 .3 5 %。腐质颗粒碳、浮游动物碳与浮游植物碳的比例为 9.2 9∶ 3 .71∶ 1。浮游生物碳中浮游动物碳占 78.8% ,浮游植物碳占 2 1 .2 %。浮游动物碳比浮游植物碳高 ,这可能是内陆盐水的通性。盐碱池塘围隔生态系统颗粒有机碳 (POC,mg C/L)与浮游植物叶绿素 a(Chla,μg/L)和悬浮颗粒有机物 (SO,mg/L)之间存在显著的正相关关系 。 展开更多
关键词 盐碱池塘 围隔生态系统 颗粒悬浮结构 有机碳库 单养 罗非鱼
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淡水鱼池生态系统的悬浮物结构及有机碳库储量 被引量:9
14
作者 郭赣林 赵文 《大连水产学院学报》 CSCD 北大核心 2006年第2期127-130,共4页
于2002年6月至2003年3月对辽宁省碧流河水库4个淡水池塘(鲢、鳙亲鱼池)的悬浮物结构及有机碳库储量进行了研究。结果表明:各池塘颗粒悬浮物重量(TS)为18.14~62.92mg/L,平均为(37.53±22.02)mg/L,灰分含量平均为33... 于2002年6月至2003年3月对辽宁省碧流河水库4个淡水池塘(鲢、鳙亲鱼池)的悬浮物结构及有机碳库储量进行了研究。结果表明:各池塘颗粒悬浮物重量(TS)为18.14~62.92mg/L,平均为(37.53±22.02)mg/L,灰分含量平均为33%;浮游生物干重(PZ)占髑的16.81%~30.65%,平均为25.05%;浮游植物干重(DWP)为4.62—12.33mg/L,平均为8.15mg/L;浮游动物干重(DWZ)为0.08—0.81mg/L,平均为0.50mg/L;溶解有机碳(DOC)和颗粒有机碳(POC)的库储量分别为(11.32±3.66)mg/L和(8.75±4.28)mg/L。TOC:DOC:POC=1:0.56:0.44;池塘POC中细菌和腐质碳(BDC)、浮游植物碳(PC)、浮游动物碳(ZC)的比例为26.45:16.30:1;在浮游生物碳(PZC)中,浮游植物碳占94.22%,起主导作用。 展开更多
关键词 颗粒悬浮结构 有机碳库 淡水池塘
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悬浮骨架密实结构配合比设计 被引量:21
15
作者 张嘎吱 沙爱民 《长安大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期1-4,共4页
针对基层骨架 密实结构混合料易出现离析问题的工艺缺陷,提出了一种全新的组成结构:悬浮骨架 密实结构。它的各级集料的比例是根据粗一级集料在细一级集料中即将相互搭结形成骨架而实际上未相互搭结形成骨架的原则计算的。它的小于2 36m... 针对基层骨架 密实结构混合料易出现离析问题的工艺缺陷,提出了一种全新的组成结构:悬浮骨架 密实结构。它的各级集料的比例是根据粗一级集料在细一级集料中即将相互搭结形成骨架而实际上未相互搭结形成骨架的原则计算的。它的小于2 36mm的细集料剂量是根据填充料最大干密度试验值与计算值相等的原则确定的。试验表明,这种结构解决了传统骨架密实结构的工艺缺陷(离析)和设计缺陷(填充料中结合料与细集料的比例缺乏理论指导),又继承了强度高、抗裂性好、抗疲劳性优的特点,因此有一定的应用价值。 展开更多
关键词 公路工程 半刚性路面 悬浮骨架密实结构 配合比设计 离析问题 间断级配 工艺缺陷 设计缺陷 抗疲劳性
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悬浮装配整体式混凝土框架结构在摄影棚中的应用
16
作者 于萍 傅先珺 《建筑结构》 CSCD 北大核心 2021年第S02期1117-1120,共4页
项目位于马来西亚吉隆坡,属于非抗震的东南亚地区。建筑物二层转换板上设置电影/电视摄影棚,均为双层钢筋混凝土房中房结构。为满足摄影棚使用功能的需要,内部框架柱支撑于静音悬浮底座之上,将整个摄影棚悬浮安置属于转换板之上,内部结... 项目位于马来西亚吉隆坡,属于非抗震的东南亚地区。建筑物二层转换板上设置电影/电视摄影棚,均为双层钢筋混凝土房中房结构。为满足摄影棚使用功能的需要,内部框架柱支撑于静音悬浮底座之上,将整个摄影棚悬浮安置属于转换板之上,内部结构与外部结构完全分离,无固接连接。节点采用悬浮静音支座安装技术,预制结构荷载平衡安装方案。项目将内框架优化为预制装配式混凝土框架结构以解决悬浮安装内框架结构的支模、浇筑等难题。最终顺利完成了预制装配式内框架摄影棚的安装,降低了施工难度,节省了劳动力,保证了施工质量,而且提高了施工速度,满足了摄影棚的静音设计要求。 展开更多
关键词 摄影棚 悬浮结构 预制装配式混凝土 框架结构
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一种新型悬浮磁体结构的双自由度轨道车辆轴箱振动能量采集器 被引量:1
17
作者 李哲辉 袁天辰 +1 位作者 杨俭 宋瑞刚 《电子科技》 2022年第1期12-20,共9页
针对地铁车辆轴温实时监测系统自供能的问题,文中提出了一种新型悬浮磁体结构的双自由度轨道车辆轴箱振动能量采集器,以便将车辆轴箱工作环境中存在的振动能转换为电能。基于机械集总系统模型和机电耦合模型,通过多物理场耦合构建了双... 针对地铁车辆轴温实时监测系统自供能的问题,文中提出了一种新型悬浮磁体结构的双自由度轨道车辆轴箱振动能量采集器,以便将车辆轴箱工作环境中存在的振动能转换为电能。基于机械集总系统模型和机电耦合模型,通过多物理场耦合构建了双自由度振动能量采集器有限元模型。加入内圈辐射充磁磁体,设计了新型悬浮磁体结构,并研究了在简谐激励下振动能量采集器的输出特性。与铜块-永磁体复合式悬浮磁体结构相比,该结构输出性能提高了165%,俘能系统峰值输出电流为63.0 mA,峰值功率为13.22 mW。文中研究内容为提升磁悬浮式振动能量采集器的响应特性和输出性能提供了理论支撑。 展开更多
关键词 悬浮磁体结构 双自由度 车辆轴箱 振动能量采集器 有限元模型 多物理场耦合
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基于体硅MEMS技术的悬浮微结构加工工艺研究 被引量:3
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作者 刘晓兰 朱政强 +1 位作者 党元兰 徐亚新 《电子与封装》 2015年第7期37-40,共4页
针对体硅MEMS加工技术的特点,确定了悬浮微结构的加工工艺流程,并对加工过程中的硅基深槽腐蚀工艺和ICP刻蚀工艺这两项关键技术及其中的重要影响因素进行了研究,得到了硅基深槽腐蚀的溶液类型、浓度和温度等工艺参数,以及ICP刻蚀工艺的... 针对体硅MEMS加工技术的特点,确定了悬浮微结构的加工工艺流程,并对加工过程中的硅基深槽腐蚀工艺和ICP刻蚀工艺这两项关键技术及其中的重要影响因素进行了研究,得到了硅基深槽腐蚀的溶液类型、浓度和温度等工艺参数,以及ICP刻蚀工艺的功率、气体流量等工艺参数。根据优化的工艺参数,采用厚度为400μm的N型<100>硅片加工了外形尺寸为3 mm×3 mm、线宽尺寸为100±2μm、硅槽深度为390±2μm的悬浮微结构样件。 展开更多
关键词 体硅工艺 悬浮结构 硅基深槽腐蚀 ICP刻蚀
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爆炸挤淤置换法与悬浮式结构海堤工程 被引量:3
19
作者 江礼茂 许羿 《水运工程》 北大核心 2011年第12期19-24,共6页
介绍了"控制加载爆炸挤淤置换法"专利技术及其在漩门三期围垦工程海堤的施工控制及检测情况,通过工程实践说明,对软基深厚的工程,采用悬浮式堤身结构是经济可行的,应用爆炸挤淤置换法技术施工可保证工程质量并控制工程造价,... 介绍了"控制加载爆炸挤淤置换法"专利技术及其在漩门三期围垦工程海堤的施工控制及检测情况,通过工程实践说明,对软基深厚的工程,采用悬浮式堤身结构是经济可行的,应用爆炸挤淤置换法技术施工可保证工程质量并控制工程造价,该工程的设计和施工方法及经验参数可作为以后工程的重要参考。 展开更多
关键词 爆炸挤淤置换法 悬浮式堤身结构 堤身检测 堤芯石指标
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悬浮式施工便桥主体结构设计研究
20
作者 刘耀东 李元达 《城市建筑》 2021年第18期177-179,共3页
悬浮式施工便桥是将钢栈桥和浮桥、悬浮隧道等工程的特点相结合的一种新型梁桥。它依靠其主体结构——悬浮体结构在水中所受到的水浮力,承载桥梁自重及荷载,从而达到平衡。悬浮体结构是一种新型离散式浮桥基础结构。本文对悬浮体结构的... 悬浮式施工便桥是将钢栈桥和浮桥、悬浮隧道等工程的特点相结合的一种新型梁桥。它依靠其主体结构——悬浮体结构在水中所受到的水浮力,承载桥梁自重及荷载,从而达到平衡。悬浮体结构是一种新型离散式浮桥基础结构。本文对悬浮体结构的重要组成部分——浮筒,在静水压力作用下的变形,进行了初步的分析。同时对悬浮体结构进行了初步的设计,并简单地分析了其力学特性。 展开更多
关键词 悬浮式施工便桥 悬浮结构 浮筒 力学特性 设计研究
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