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悬隔膜材料和制造工艺技术
1
作者 郑养 《传感器技术》 CSCD 1996年第2期44-46,共3页
综合分析比较了各种微传感器中悬隔膜材料和制造工艺技术的优缺点，从中选择工艺简单易行、性能稳定可靠以及与微电子技术相容的微传感器悬隔膜材料和制造工艺技术，以便提高微传感器成品率．
关键词 悬隔膜材料 微传感器 制造
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