应用于高热流冷却的微通道实验装置的研究(英文)

本文详细介绍了微通道热沉实验装置的发展状态。建成了一个具有多功能、低不确定度、高精度温度控制的实验装置 ,用于模拟微通道热沉的实际热流状态和分析其热传导特性。最终测试实验借助于HP5 5 2 9A动态校准仪在恒温室中完成。测试结果表明 ,这个装置不仅有高的冷却效果 ,而且能满足微电子机械和纳米技术所需要的高精度温度的要求。