一种基于惯性致动的四足压电移动机器人研究

设计了一种基于压电双晶梁的L型压电驱动器,基于模块化设计思想将L型压电驱动器应用于压电移动机器人的研制。压电移动机器人由4个周向分布的L型压电驱动器和连接平台组成,结构简单紧凑,可实现2自由度平面内大范围高精运动。对压电移动机器人进行加工和装配,并搭建测试平台对压电移动机器人的运动输出特性进行实验研究。测试结果表明,压电移动机器人具有兼顾高精度、快速度、高稳定性和强承载能力的良好综合性能,其运动分辨率为1μm,最大运动速度可达46 mm/s,承载能力可达75 g,在微纳操作、晶圆缺陷检测和超精密加工领域具有广阔的应用前景。