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电感耦合等离子体原子发射光谱法测定工业硅中8种杂质元素
被引量:
12
1
作者
张云晖
杨晓静
+2 位作者
亢若谷
赵建为
金波
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期55-59,共5页
采用电感耦合等离子体原子发射光谱仪的耐氢氟酸惰性进样系统,在样品用氢氟酸、硝酸、高氯酸溶解完全后无需赶尽氢氟酸和硅基体,直接进样,电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定了工业硅粉中铁、铝、钙、钛、锰、镍、硼和磷8种杂质元...
采用电感耦合等离子体原子发射光谱仪的耐氢氟酸惰性进样系统,在样品用氢氟酸、硝酸、高氯酸溶解完全后无需赶尽氢氟酸和硅基体,直接进样,电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定了工业硅粉中铁、铝、钙、钛、锰、镍、硼和磷8种杂质元素。因为在溶样过程中大部分基体硅已挥发除去,基体效应对铁、铝、钙、钛、锰、镍的测定没有影响,但是对硼和磷的测定仍有影响,这种影响可以采用垂直观测方式克服。按照空白值的3倍标准偏差计算方法的检测限,得到铁、铝、钙、钛、锰、镍、硼和磷的检测限(w/%)分别为0.004,0.001,0.004,0.001,0.000 1,0.000 1,0.000 04和0.000 06。方法已用于工业硅中上述8种杂质元素的测定,测定值与标准方法(GB/T 14849.4—2008)的测定值或认定值相符。
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关键词
电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP—AES)
工业硅
惰性进样系统
杂质元素
下载PDF
职称材料
ICP-MS法快速测定多晶硅表面八种金属杂质含量
被引量:
1
2
作者
徐远志
张云晖
《云南冶金》
2018年第3期79-83,共5页
使用硝酸、氢氟酸、过氧化氢和水的混合溶液浸取多晶硅表面金属杂质,无需赶尽氢氟酸,采用配备耐氢氟酸惰性进样系统的ICP-MS直接测定多晶硅产品中钠、铝、钾、铁、铬、镍、铜和锌8种表面金属杂质含量,结果表明该方法具有简便、快速、准...
使用硝酸、氢氟酸、过氧化氢和水的混合溶液浸取多晶硅表面金属杂质,无需赶尽氢氟酸,采用配备耐氢氟酸惰性进样系统的ICP-MS直接测定多晶硅产品中钠、铝、钾、铁、铬、镍、铜和锌8种表面金属杂质含量,结果表明该方法具有简便、快速、准确等特点,加标回收率为84.0%~110.6%,相对标准偏差(RSD)为3.79%~11.96%,检出限为0.003 ng/g^0.018 ng/g。
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关键词
表面金属
ICP-MS
惰性进样系统
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职称材料
题名
电感耦合等离子体原子发射光谱法测定工业硅中8种杂质元素
被引量:
12
1
作者
张云晖
杨晓静
亢若谷
赵建为
金波
机构
昆明冶研新材料股份有限公司质量监督部
出处
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期55-59,共5页
文摘
采用电感耦合等离子体原子发射光谱仪的耐氢氟酸惰性进样系统,在样品用氢氟酸、硝酸、高氯酸溶解完全后无需赶尽氢氟酸和硅基体,直接进样,电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定了工业硅粉中铁、铝、钙、钛、锰、镍、硼和磷8种杂质元素。因为在溶样过程中大部分基体硅已挥发除去,基体效应对铁、铝、钙、钛、锰、镍的测定没有影响,但是对硼和磷的测定仍有影响,这种影响可以采用垂直观测方式克服。按照空白值的3倍标准偏差计算方法的检测限,得到铁、铝、钙、钛、锰、镍、硼和磷的检测限(w/%)分别为0.004,0.001,0.004,0.001,0.000 1,0.000 1,0.000 04和0.000 06。方法已用于工业硅中上述8种杂质元素的测定,测定值与标准方法(GB/T 14849.4—2008)的测定值或认定值相符。
关键词
电感耦合等离子体原子发射光谱法(ICP—AES)
工业硅
惰性进样系统
杂质元素
Keywords
inductively coupled plasma atomic emission spectrometry (ICP-AES)
industrial silicon
inert sample injection system
impurity elements
分类号
O657.31 [理学—分析化学]
下载PDF
职称材料
题名
ICP-MS法快速测定多晶硅表面八种金属杂质含量
被引量:
1
2
作者
徐远志
张云晖
机构
云南冶金云芯硅材股份有限公司
云南省光电子硅材料制备技术企业重点实验室
出处
《云南冶金》
2018年第3期79-83,共5页
文摘
使用硝酸、氢氟酸、过氧化氢和水的混合溶液浸取多晶硅表面金属杂质,无需赶尽氢氟酸,采用配备耐氢氟酸惰性进样系统的ICP-MS直接测定多晶硅产品中钠、铝、钾、铁、铬、镍、铜和锌8种表面金属杂质含量,结果表明该方法具有简便、快速、准确等特点,加标回收率为84.0%~110.6%,相对标准偏差(RSD)为3.79%~11.96%,检出限为0.003 ng/g^0.018 ng/g。
关键词
表面金属
ICP-MS
惰性进样系统
Keywords
surface metal
ICP - MS
inert sample introduction system
分类号
O657.63 [理学—分析化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电感耦合等离子体原子发射光谱法测定工业硅中8种杂质元素
张云晖
杨晓静
亢若谷
赵建为
金波
《冶金分析》
CAS
CSCD
北大核心
2013
12
下载PDF
职称材料
2
ICP-MS法快速测定多晶硅表面八种金属杂质含量
徐远志
张云晖
《云南冶金》
2018
1
下载PDF
职称材料
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参考文献
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