DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量

采用安装Ｃ靶（４．４７ｎｍ）的Ｈｅｎｋｅ源进行了ＤＣＰＡ胶的Ｘ光曝光实验，经持续曝光，得到了与５０线／ｍｍ铜网掩模对应的光刻图形。结合正比计数管的Ｘ光测量，得到ＤＣＰＡ胶对Ｃ靶的曝光灵敏度为～３５ｍＪ／ｃｍ￣２。