期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
MOS结构中的两类慢界面态
1
作者 高文钰 严荣良 大西一功 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第8期607-610,共4页
通过测量高频C-V迟滞曲线研究了MOS电容中慢界面态的特性.发现金属化后退火(PMA)前电容中的慢界面态分布在禁带中央以下的能级,但PMA后完全消失;相反,FowlerNordheim高电场应力引起的慢界面态能级高于... 通过测量高频C-V迟滞曲线研究了MOS电容中慢界面态的特性.发现金属化后退火(PMA)前电容中的慢界面态分布在禁带中央以下的能级,但PMA后完全消失;相反,FowlerNordheim高电场应力引起的慢界面态能级高于禁带中央.并探讨了这些慢态的微观机理. 展开更多
关键词 MOS结构 慢界面态 微观机理 MOS器件
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部