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一种快速光刻模拟中二维成像轮廓提取的新方法 被引量:12
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作者 陈志锦 史峥 +2 位作者 王国雄 付萍 严晓浪 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第7期766-771,共6页
在一种新颖的快速光刻模拟算法的基础上 ,提出了一种新的基于稀疏空间点光强计算的二维成像轮廓提取算法 .该算法能够根据版图特点合理选择采样线的位置 ,有效地确定轮廓线存在的范围 ,并根据在采样线上光强单调分布的特性来快速地搜寻... 在一种新颖的快速光刻模拟算法的基础上 ,提出了一种新的基于稀疏空间点光强计算的二维成像轮廓提取算法 .该算法能够根据版图特点合理选择采样线的位置 ,有效地确定轮廓线存在的范围 ,并根据在采样线上光强单调分布的特性来快速地搜寻轮廓点 .实验表明 ,这是一种快速高效的轮廓提取方案 ,能够适应光学邻近校正中巨大的运算量 . 展开更多
关键词 光刻 二维成像轮廓 提取 光学邻近校正 OPC 集成电路
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利用同步辐射扭摆器光源研究X射线同轴轮廓成像质量 被引量:1
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作者 骆玉宇 肖体乔 +4 位作者 陈敏 刘丽想 曾丹华 杜国浩 徐洪杰 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期97-104,共8页
利用北京同步辐射光源研究了准平行束X射线同轴轮廓成像中影响成像质量的若干因素。结果表明,同步辐射光束在垂直方向能获得更好的边缘增强效果。尺寸较大的样品能获得更高的衬度。随着样品到探测器距离的增大,衬度增大,但存在一个最佳... 利用北京同步辐射光源研究了准平行束X射线同轴轮廓成像中影响成像质量的若干因素。结果表明,同步辐射光束在垂直方向能获得更好的边缘增强效果。尺寸较大的样品能获得更高的衬度。随着样品到探测器距离的增大,衬度增大,但存在一个最佳距离。高分辨率的探测器可以获得较高的衬度和较好的边界锐度。 展开更多
关键词 X射线同轴轮廓成像 成像质量 同步辐射
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小波在导体柱轮廓成像中的应用 被引量:1
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作者 于春阳 汪文秉 罗贤云 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期1-4,共4页
本文分别利用Haar小波和周期正交Daubechies,小波作为表征导体横截面轮廓和表面电流的基函数,利用Newton-Kantorovich方法将逆散射问题对应的非线性耦合积分方程局部线性化,再用矩量法将线性化的积... 本文分别利用Haar小波和周期正交Daubechies,小波作为表征导体横截面轮廓和表面电流的基函数,利用Newton-Kantorovich方法将逆散射问题对应的非线性耦合积分方程局部线性化,再用矩量法将线性化的积分方程组化为耦合的矩阵方程形式,然后利用伪边方法求解病态的线性方程组.为提高成像质量,采用多个人射方向和频率的平面被照射该目标.在数值结果与讨论中,给出了用上述方法所得的具有不连续性的导体柱轮廓的重建结果,并与三角级数展开的结果进行了比较,表明小波方法在具有不连续性导体柱轮廓重建中的应用价值. 展开更多
关键词 多尺度分析 轮廓成像 电磁逆散射 导体柱
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内部轮廓超声成像系统的设计
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作者 李勇峰 张艳花 杨录 《机床与液压》 北大核心 2014年第5期111-115,共5页
针对现有内部轮廓成像系统精度不高的缺点,提出一种基于三通道时差法的测距思路,实现了以FPGA与C8051F340单片机为控制器的内部轮廓高精度成像。该系统通过内部轮廓三通道超声测距的方式,得到3个通道的回波时间差来推算待测距离,有效解... 针对现有内部轮廓成像系统精度不高的缺点,提出一种基于三通道时差法的测距思路,实现了以FPGA与C8051F340单片机为控制器的内部轮廓高精度成像。该系统通过内部轮廓三通道超声测距的方式,得到3个通道的回波时间差来推算待测距离,有效解决了被测物体内部轮廓表面不平坦的难题,提高了成像精度,并通过MATLAB实现内部轮廓的实时呈现。实验表明:该系统性能稳定,精度高,量程大,有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 内部轮廓成像 三通道时差法 自动增益补偿 MATLAB
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离体生物样本无对比剂血管成像:硬X线同轴轮廓相衬成像术的实验研究 被引量:3
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作者 姜庆军 冯赟 +5 位作者 肖湘生 刘士远 陈敏 肖体乔 徐洪杰 田玉莲 《中国医学影像技术》 CSCD 北大核心 2005年第8期1172-1174,共3页
目的X线相衬成像能够在无对比剂和降低曝光量的情况下观察生物组织尤其是软组织的内部结构。该实验利用同步辐射相干X线,根据同轴轮廓成像原理,在无对比剂的情况下,观察新西兰大白兔和人的离体肝组织标本内部的血管结构。方法所有样品经... 目的X线相衬成像能够在无对比剂和降低曝光量的情况下观察生物组织尤其是软组织的内部结构。该实验利用同步辐射相干X线,根据同轴轮廓成像原理,在无对比剂的情况下,观察新西兰大白兔和人的离体肝组织标本内部的血管结构。方法所有样品经10%甲醛溶液固定,并切成6mm厚,10mm×10mm大小备用。成像胶片为富士工业胶片(Fuji-IX80)。实验是在北京同步辐射实验室4W1A光束上进行的,实验装置类似于全息成像,最大光斑为20mm×10mm,光子能量为8keV。改变样品和胶片的距离,以获得最佳的成像质量。结果兔肝标本的血管树得到清晰显示,人肝硬化标本的扭曲的异常血管也得到清晰显示。显示的最小的血管直径小于20μm。结论在第一代同步辐射上,在无对比剂的情况下,肝脏样本内部的血管结构可以通过X线同轴轮廓成像的方法得到显示。 展开更多
关键词 硬X线同轴轮廓相衬成像 肝脏 动物 实验
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比较同步辐射衍射增强与同轴技术小鼠肾脏成像 被引量:3
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作者 彭屹峰 陈云燕 +4 位作者 田净丽 王骐 汤光宇 肖体乔 朱佩平 《中国医学影像技术》 CSCD 北大核心 2010年第11期2027-2029,共3页
目的通过评价同步辐射相位衬度成像技术在小鼠肾脏微细结构的成像过程,比较同轴成像技术(IOXI)与衍射增强成像(DEI)的差异,探索相位成像技术的应用价值。方法在北京同步辐射装置(BSRF)形貌站4W1A和上海光源(SSRF)成像线站BL13W上,分别... 目的通过评价同步辐射相位衬度成像技术在小鼠肾脏微细结构的成像过程,比较同轴成像技术(IOXI)与衍射增强成像(DEI)的差异,探索相位成像技术的应用价值。方法在北京同步辐射装置(BSRF)形貌站4W1A和上海光源(SSRF)成像线站BL13W上,分别对小鼠肾脏进行成像,以组织衬度与空间分辨力作为评价指标。结果肾脏微细结构在IOXI与DEI中均得以显示,尤其是IOXI可显示肾小球。通过显微放大法获得的图像空间分辨力达10μm。结论包括IOXI与DEI在内的相位衬度成像技术在软组织及血管结构的显示中均具有较高的应用价值。IOXI由于获得成像信息更多,且光路较为简单、图像可直接获得,在生物医学应用研究中的价值可能更高。 展开更多
关键词 X线同轴轮廓成像 衍射增强成像 同步辐射 小鼠
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相干X线相衬成像的初步研究:离体大白鼠肝脏、肺脏成像实验 被引量:9
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作者 姜庆军 肖湘生 +2 位作者 刘士远 肖体乔 陈敏 《中国医学影像技术》 CSCD 2003年第9期1116-1117,共2页
目的 应用同轴轮廓成像原理对大白鼠离体肝脏、肺脏进行X线相衬成像实验 ,并与常规X线技术对比 ,为进一步实验奠定基础。方法 在北京正负电子对撞机国家实验室 ,利用同步辐射装置的插入件辐射引出的空间相干X射线 ,应用同轴轮廓成像原... 目的 应用同轴轮廓成像原理对大白鼠离体肝脏、肺脏进行X线相衬成像实验 ,并与常规X线技术对比 ,为进一步实验奠定基础。方法 在北京正负电子对撞机国家实验室 ,利用同步辐射装置的插入件辐射引出的空间相干X射线 ,应用同轴轮廓成像原理 ,对大白鼠离体的肝脏、肺脏进行X线相衬成像。同时 ,对离体的大白鼠肺脏进行常规X线摄影 ,并进行对比。结果 大白鼠离体肝脏血管成像未能显示内部结构 ;离体肺脏的同轴轮廓成像清晰度及分辨率显著高于普通X线技术。结论 X线相衬成像从原理和实践上 ,其分辨率都高于常规X线技术 ,但尚需进一步探索和改进。 展开更多
关键词 X线相衬成像 同轴轮廓成像 动物实验
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基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法 被引量:1
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作者 邓哲涛 贺春景 +1 位作者 黄伟华 徐可米 《光学技术》 CSCD 北大核心 2021年第4期410-416,共7页
针对传统共焦显微技术定焦过程中扫描速度和扫描精度无法兼顾的问题,提出了一种基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法。其将传统共焦响应曲线向前平移和向后平移指定量得到虚拟前焦和虚拟后焦信号;然后将虚拟前、后焦信号与原始共... 针对传统共焦显微技术定焦过程中扫描速度和扫描精度无法兼顾的问题,提出了一种基于虚拟双差动共焦的快速表面轮廓测量方法。其将传统共焦响应曲线向前平移和向后平移指定量得到虚拟前焦和虚拟后焦信号;然后将虚拟前、后焦信号与原始共焦信号分别相减,并将相减结果做相加处理得到虚拟双差动曲线。虚拟双差动曲线具有大线性范围、高定焦灵敏度的特点,在大扫描间距情况下获取表面轮廓时,可实现样品表面轮廓的快速、高精度的定焦。仿真分析及实验结果表明,与传统差动共焦显微成像方法相比,虚拟双差动共焦表面轮廓测量方法可在保持高定焦精度的前提下,将几何形貌成像速度提高2倍以上。 展开更多
关键词 光学测量 虚拟双差动共焦 大线性范围 高定焦灵敏度 快速轮廓成像
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X射线同轴轮廓成像中影响成像质量的若干因素研究 被引量:21
9
作者 刘丽想 杜国浩 +2 位作者 胡雯 谢红兰 肖体乔 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期4556-4564,共9页
采用数字模拟方法较为系统地研究了光子能量、样品直径和散射强度对成像质量的影响,克服了已有实验结果的局限性.研究得到成像质量随光子能量的变化关系,模拟结果与已有实验结果相符.研究发现,当其他成像参数不变时,同一样品存在多个光... 采用数字模拟方法较为系统地研究了光子能量、样品直径和散射强度对成像质量的影响,克服了已有实验结果的局限性.研究得到成像质量随光子能量的变化关系,模拟结果与已有实验结果相符.研究发现,当其他成像参数不变时,同一样品存在多个光子能量可实现相近的成像质量,且成像质量都较好,这可用于定量相衬成像中多图重构时图像的选择,也为对辐射剂量有要求的样品提供理论依据.得到了不同直径样品在成像质量最佳时所对应的样品到探测器距离,发现这一距离随样品直径的增加而增加.研究了样品厚度或折射率变化导致的散射X射线对成像质量的影响,发现成像衬度随散射的增强呈指数下降,在厚度或折射率分布不规则导致散射的情况下,X射线同轴轮廓成像仍能得到较好的轮廓像. 展开更多
关键词 x射线同轴轮廓成像 成像质量 X射线散射
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利用定量相衬成像消除X射线同轴轮廓成像中散射的影响 被引量:9
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作者 刘丽想 杜国浩 +4 位作者 胡雯 骆玉宇 谢红兰 陈敏 肖体乔 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期6387-6394,共8页
在所有的相衬成像方法中,X射线同轴轮廓成像由于光路简单、不需要任何光学元件而备受关注.其缺点是无法直接消除散射的影响,从而限制了它在生物医学等领域中的应用.利用数字模拟方法研究了引入散射前后轮廓像的质量随样品到探测器距离... 在所有的相衬成像方法中,X射线同轴轮廓成像由于光路简单、不需要任何光学元件而备受关注.其缺点是无法直接消除散射的影响,从而限制了它在生物医学等领域中的应用.利用数字模拟方法研究了引入散射前后轮廓像的质量随样品到探测器距离的变化情况.模拟结果表明直接轮廓成像存在一个最佳成像距离,因而无法通过改变样品到探测器距离来减小散射的影响.利用定量相衬成像不受成像距离限制的特点,研究了远距离成像时散射的影响.结果表明,样品到探测器的距离增大到一个临界值时,散射对重构像的影响可降到一个极值,此时成像质量得到了明显改善. 展开更多
关键词 散射 X射线同轴轮廓成像 定量相衬成像
原文传递
CO_2相干激光轮廓成像研究
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作者 南京达 焦杰 皮名嘉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第11期1037-1040,共4页
本文以自制CO_2相干激光成像的实验系统,成功地实现了相干激光的彩色轮廓成像。
关键词 二氧化碳 相干激光成像 轮廓成像
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DICOM放射治疗中结构集文件的创建 被引量:3
12
作者 蒲立新 曲建明 《中国数字医学》 2011年第2期102-105,共4页
利用ITK工具完成了医学数字成像及通信(Digital Imaging and Communications in Medicine,DICOM)标准中的RT结构集(Radiotherapy Structure Set)对象的创建,实现了从带有病灶的DICOM图像(以CT图像为例)到RT结构集文件创建整个过程,建立... 利用ITK工具完成了医学数字成像及通信(Digital Imaging and Communications in Medicine,DICOM)标准中的RT结构集(Radiotherapy Structure Set)对象的创建,实现了从带有病灶的DICOM图像(以CT图像为例)到RT结构集文件创建整个过程,建立了整个流程模型。DICOM标准中的RT结构集对象主要用于传送病人结构和相关数据,在结构集信息实体中,其主要包含结构集模块、医生感兴趣区域轮廓模块(ROI Contour)和感兴趣区域观察模块(ROI Observations)等。可以用ITK工具实现自动勾画医生感兴趣区域的操作,从而抽取出轮廓数据(Contour data),创建RT结构集文件,为进一步实现整个治疗计划系统开发打下坚实基础。 展开更多
关键词 放射治疗 医学数字成像及通信标准感兴趣区域轮廓模块 感兴趣区域观察模块 RT结构集 轮廓数据
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X射线、紫外线及其仪器
13
《中国光学》 EI CAS 2008年第2期105-105,共1页
关键词 成像质量 紫外线 射线 光子能量 实验结果 轮廓成像 仪器 数字模拟 方法研究 应用物理
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基于轮廓约束的摄影测量法元青花瓶数字三维重建 被引量:8
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作者 张剑清 孙明伟 +1 位作者 郑顺义 季铮 《武汉大学学报(信息科学版)》 EI CSCD 北大核心 2009年第1期7-10,共4页
利用数字摄影测量技术对一件馆藏元青花瓷瓶进行数字三维重建。利用物体在影像上的成像轮廓,结合物体的制造工艺,采用类似断面扫描的积分方法,利用在多张影像上精确提取的轮廓位置作为约束,用最小二乘迭代来求解物体上一系列横断面的三... 利用数字摄影测量技术对一件馆藏元青花瓷瓶进行数字三维重建。利用物体在影像上的成像轮廓,结合物体的制造工艺,采用类似断面扫描的积分方法,利用在多张影像上精确提取的轮廓位置作为约束,用最小二乘迭代来求解物体上一系列横断面的三维尺寸。选取每幅影像的最佳区域进行纹理重组织,并自动消除影像之间的接边差异。重建结果表明,该方法几何精度高,纹理真实,自动化程度较高。 展开更多
关键词 元青花瓷瓶 三维重建 摄影测量 成像轮廓
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THREE DIMENSIONAL DIGITIZATION OF HUMAN HEAD BY FUSING STRUCTURED LIGHT AND CONTOURS
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作者 JinGang LiDehua 《Journal of Electronics(China)》 2002年第1期37-42,共6页
Three dimensional digitization of human head is desired in many applications. In this paper, an information fusion based scheme is presented to obtain 3-D information of human head. Structured light technology is empl... Three dimensional digitization of human head is desired in many applications. In this paper, an information fusion based scheme is presented to obtain 3-D information of human head. Structured light technology is employed to measure depth. For the special reflection areas,in which the structured light stripe can not be detected directly, the shape of the structured light stripe can be calculated from the corresponding contour. By fusing the information of structured light and the contours, the problem of reflectance influence is solved, and the whole shape of head,including hair area, can be obtained. Some good results are obtained. 展开更多
关键词 Computer vision 3-D information digitization Structured light Shape from contours Data fusion
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Non-contact Acoustic Contour Imaging Method Using Phase Difference in Extremely Shallow Underground
16
作者 Tsuneyoshi Sugimoto Ryo Akamatsu Touma Abe 《Journal of Energy and Power Engineering》 2012年第12期2010-2017,共8页
Buried object which exists at extremely shallow underground can be detected by using an acoustic vibration and a SLDV (scanning laser Doppler vibrometer). Non-contact acoustic exploration can be realized by using ai... Buried object which exists at extremely shallow underground can be detected by using an acoustic vibration and a SLDV (scanning laser Doppler vibrometer). Non-contact acoustic exploration can be realized by using air coupled sound. It was confirmed that discovery and the identification of a buried thing were possible using the OFR method (optimum frequency range method). However, in this method, only the amplitude of the vibration speed spectrum is used and did not use the phase information. Therefore a new imaging method is proposed that used the phase information of the vibration speed spectrum. From the experimental results, the possibility of the outline extraction by using the phase difference between each scan point is confirmed. As a future task, the phase difference image will become clearer by changing the scan point density and long duration time of emitted wave. 展开更多
关键词 Phase difference non-contact acoustic exploration contour imaging scanning laser Doppler vibrometer optimumfrequency range.
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