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银基体上铜等离子体基离子注入层的成分分布 被引量:3
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作者 于伟东 夏立芳 +2 位作者 马欣新 孙跃 孙明仁 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第S1期155-159,共5页
研究了银基体上铜等离子体基离子注入 (CuPBII)层成分深度分布与试验工艺参数的关系。选择影响注入离子能量的脉冲偏压和注入剂量的不平衡磁控靶放电电流和靶基距作为试验参数 ,用X射线光电子谱 (XPS)进行注入层成分深度分析。结果表明 ... 研究了银基体上铜等离子体基离子注入 (CuPBII)层成分深度分布与试验工艺参数的关系。选择影响注入离子能量的脉冲偏压和注入剂量的不平衡磁控靶放电电流和靶基距作为试验参数 ,用X射线光电子谱 (XPS)进行注入层成分深度分析。结果表明 ,对较高的脉冲偏压 (80kV)、中等的磁控靶电流 (75mA)和近的靶基距 (2 0 0mm) ,容易形成厚的银铜过渡层 (7.6μm) ,且铜离子注入、铜原子的反冲注入与铜的沉积很好地匹配。与气体等离子体基离子注入不同 ,铜的沉积速率成为影响银铜过渡层的又一决定因素。 展开更多
关键词 金属等离子体 等离子体基离子注入 成分深度分布 铜离子
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等离子体基离子注入制备TiN膜的成分结构 被引量:2
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作者 李金龙 孙明仁 +2 位作者 马欣新 唐光泽 金银玉 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期40-43,共4页
采用Ti、N等离子体基离子注入和先在基体表面沉积纯钛层然后离子注氮混合两种方法在铝合金基体上制备了TiN膜.利用XPS分析了两种方法制备TiN薄膜的成分深度分布和元素化学价态,并用力学性能显微探针测试对比了TiN膜的纳米硬度.研究表明... 采用Ti、N等离子体基离子注入和先在基体表面沉积纯钛层然后离子注氮混合两种方法在铝合金基体上制备了TiN膜.利用XPS分析了两种方法制备TiN薄膜的成分深度分布和元素化学价态,并用力学性能显微探针测试对比了TiN膜的纳米硬度.研究表明:两种方法制备的薄膜均由TiN组成,Ti、N等离子体基离子注入薄膜中Ti/N≈1.1,而离子注入混合薄膜中Ti/N≈1.3,Ti、N等离子体基离子注入薄膜表面区域为TiN和TiO2的混合组织,TiN含量多于TiO2,离子注入混合薄膜表面主要是TiO2;Ti、N等离子体基离子注入所制备的薄膜的纳米硬度峰值为12.26 GPa,高于离子注入混合的7.98 GPa. 展开更多
关键词 等离子体基离子注入 TIN膜 XPS 成分深度分布 元素化学价态 纳米硬度
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溅射深度剖析定量分析及其应用研究进展 被引量:6
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作者 康红利 简玮 +2 位作者 韩逸山 刘毅 王江涌 《汕头大学学报(自然科学版)》 2016年第2期3-24,2,共23页
溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研... 溅射深度剖析技术已广泛应用于薄膜材料与功能多层膜结构中成分深度分布的表征,但由于其涉及复杂的溅射过程,样品形貌的多样性,探测信号来自距样品表层不同的深度,新溅射技术的频出,以及其应用范围不断的扩大,使得深度剖析定量分析的研究方兴未艾.本文首先回顾了深度剖析定量分析方法的发展过程,特别对其中的"原子混合(Mixing)-粗糙度(Roughness)-信息深度(Information)"(MRI)模型建立的物理背景,以及为满足高分辨率深度剖析数据的定量分析所进行的拓展进行了详细的论述.给出了利用深度剖析定量分析方法确定深度分辨率、超晶格及分子结构的重构、多层膜界面间粗糙度及薄膜中扩散系数的实例. 展开更多
关键词 深度剖析定量分析 深度分辨率 MRI模型 成分深度分布 表面分析技术
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Impact of intensity variability of the Asian summer monsoon anticyclone on the chemical distribution in the upper troposphere and lower stratosphere
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作者 Kecheng Peng Jiali Luo +4 位作者 Jiayi Mu Xiaoqun Cao Hongying Tian Lin Shang Yanan Guo 《Atmospheric and Oceanic Science Letters》 CSCD 2022年第3期25-30,共6页
During the Asian summer monsoon(ASM)season,the process of stratosphere-troposphere exchange significantly affects the concentration and spatial distribution of chemical constituents in the upper troposphere and lower ... During the Asian summer monsoon(ASM)season,the process of stratosphere-troposphere exchange significantly affects the concentration and spatial distribution of chemical constituents in the upper troposphere and lower stratosphere(UTLS).However,the effect of the intensity of the Asian summer monsoon anticyclone(ASMA)on the horizontal distribution of chemical species within and around the ASMA,especially on the daily time scale,remains unclear.Here,the authors use the MERRA-2 reanalysis dataset and Aura Microwave Limb Sounder observations to study the impact of ASMA intensity on chemical distributions at 100 hPa during the ASM season.The intraseasonal variation of ASMA is classified into a strong period(SP)and weak period(WP),which refer to the periods when the intensity of ASMA remains strong and weak,respectively.The relatively low ozone(O_(3))region is found to be larger at 100 hPa during SPs,while its mixing ratio is lower than during WPs in summer.In June,analysis shows that the O_(3) horizontal distribution is mainly related to the intensity of AMSA,especially during SPs in June,while deep convections also impact the O_(3) horizontal distribution in July and August.These results indicate that the intraseasonal variation of the ASMA intensity coupled to deep convection can significantly affect the chemical distribution in the UTLS region during the ASM season. 展开更多
关键词 Asian summer monsoon anticyclone Intensity index Chemical distribution Deep convection
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