PE/RIE用自寻优功率匹配器的研究

本文用分布参数电路理论对干法刻蚀(PE/RIE)机中从射频电源到反应真空室的功率传送电路进行了分析。用双口网络的分析方法推导出求解L型匹配网中可变电容C_P、C_M在负载Z_L下最佳匹配值C_P、C_M的计算公式。由于当反射功率P_(ref)等于零时射频放电光电信号V_L达到最大,通过测量一定负载条件下V_L与C_P、C_M的关系,提出了采用自寻优的控制策略实现自动匹配的新方法。这种方法比传统的鉴相鉴幅法自动匹配器电路简单、控制范围宽、稳定性好,有利于半导体干法刻蚀新工艺的开发和研究。自寻优匹配器由硬件和软件相结合的方法构成。硬件以8031单片微机为中心,软件采用改进的座标轮换成功失败法。经实际运行,稳定可靠,满足干法刻蚀工艺的要求。

基于改进Chebyshev的配电网工程造价合理区间分布研究

提出一种基于改进Chebyshev的配电网工程造价合理区间的计算方法。该方法对设计评审阶段的造价可靠性提供了分析依据,有利于提升配电网工程造价精益化管理水平。