金刚石膜的六十项性状指标和百项相关成膜因素

为了表征金刚石膜性能的稳定性,本文给出了六十项性状指标和百项相关成膜因素、因果值A、制膜效果作为比较平台。发现沉积腔中气流有喘息、电弧转速有进动。磨耗比E值随测量过程而变。影响膜质的温度有22种。该平台为比较金刚石膜的稳定性找到了依据,不仅方便了技术交流、推动了膜品相的提高和制备技术的进步、还为标准的建立提供了方便和技术储备。

旋膜式除氧器旋膜管流态仿真分析及优化

为优化旋膜除氧器旋膜管成膜性能,通过Fluent软件仿真的方法对旋膜管中流体流动情况进行了基于两相流的数值仿真分析。提出影响水膜裙形成的关键因素并进行适当优化。研究发现,对于固定单管流量的旋膜管,其壁面射流小孔的开孔方向(与径向夹角α,与轴向夹角β)是最终能否形成水膜裙的关键影响因素,根据优化结果,发现当α=60°、β=10°时旋膜管出口处切向流速较大,成膜效果最好。