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紫外光固化中阻蚀胶薄膜应力分析及成膜控制 被引量:2
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作者 尹磊 丁玉成 +1 位作者 卢秉恒 刘红忠 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1028-1031,共4页
针对压印光刻工艺实现图章保真复型对阻蚀胶薄膜的均匀度和应力分布的要求,对匀胶过程中的时间、转速和加速度等参数进行了分析,并采用基片曲率法的Stoney公式及其近似计算公式,对不同参数环境下的薄膜应力及应力梯度分布作了计算分析.... 针对压印光刻工艺实现图章保真复型对阻蚀胶薄膜的均匀度和应力分布的要求,对匀胶过程中的时间、转速和加速度等参数进行了分析,并采用基片曲率法的Stoney公式及其近似计算公式,对不同参数环境下的薄膜应力及应力梯度分布作了计算分析.通过对比几组试验参数的应力分析结果,验证了薄膜应力的大小和应力梯度的分布主要与匀胶时间和速度有关,而与加速度的关系较小.因此,当选用匀胶转速为5 000 r/min、时间为30 s时,薄膜应力分布最优,成膜质量最佳,能够满足压印光刻工艺中300 nm级图型的保真复型需求. 展开更多
关键词 压印光刻 阻蚀胶 基片曲率法 薄膜应力 成膜控制
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喷墨打印OLED发光层像素坑内成膜控制方法 被引量:1
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作者 朱红 陈建魁 +3 位作者 岳晓 熊镜凯 熊佳聪 高国雄 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期1420-1429,共10页
在OLED发光层喷墨打印制备中,像素坑内成膜厚度控制是抑制器件产生Mura缺陷的关键。不同喷孔液滴体积差异和液滴错误沉积引起的像素坑内融合溶液体积变化,是造成发光层膜厚不一致的主要原因。为解决膜厚一致性问题,本文提出了基于液滴... 在OLED发光层喷墨打印制备中,像素坑内成膜厚度控制是抑制器件产生Mura缺陷的关键。不同喷孔液滴体积差异和液滴错误沉积引起的像素坑内融合溶液体积变化,是造成发光层膜厚不一致的主要原因。为解决膜厚一致性问题,本文提出了基于液滴体积控制与沉积定位控制的OLED发光层成膜控制方法。首先调节驱动波形使不同喷孔产生体积适配的液滴;然后检测各喷孔的液滴落点位置,通过偏移补偿和异常喷孔筛选控制液滴精准沉积;最后使用不同液滴混合方法控制像素坑内溶液体积。在实验中,将液滴沉积定位偏差控制在±10μm,将液滴混合后溶液体积差异控制在±4%,测量干燥固化后的薄膜厚度,结果表明,不同像素坑膜厚一致性提高至95%以上,获得了发光均匀的OLED器件。本文提出的膜厚一致性控制方法达到预期、满足OLED功能层制备要求。 展开更多
关键词 喷墨打印 OLED 成膜控制 体积控制 沉积定位 膜厚一致性
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生漆成膜过程控制技术研究 被引量:5
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作者 张飞龙 《中国生漆》 2001年第3期1-4,15,共5页
本文从生物化学角度探讨了生漆成膜过程控制技术。认为影响生漆成膜固化过程的关键因子是温度、湿度 ;控制点是漆酶的催化活性和水分挥发速率 ;湿膜中的水分含量决定了漆酶发挥催化作用所必需的摄氧量 ;控制湿度可保证湿膜内水相溶解氧... 本文从生物化学角度探讨了生漆成膜过程控制技术。认为影响生漆成膜固化过程的关键因子是温度、湿度 ;控制点是漆酶的催化活性和水分挥发速率 ;湿膜中的水分含量决定了漆酶发挥催化作用所必需的摄氧量 ;控制湿度可保证湿膜内水相溶解氧的有效供给 ;O2 是生漆成膜固化过程的限制因子 ;在特定条件下控制温度可保证漆酶保持最佳活性 。 展开更多
关键词 生漆 漆酶 干燥性 固化 涂料 成膜过程控制 漆膜
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大面积有机–无机杂化钙钛矿薄膜及其光伏应用研究进展
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作者 张慧 许志鹏 +2 位作者 朱从潭 郭学益 杨英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期457-466,共10页
有机–无机杂化钙钛矿太阳能电池具有制备成本低、光电转换效率(Photoelectric Conversion Efficiency,PCE)高的巨大优势,显示出广阔的商业化前景。经过十几年的深入研究,钙钛矿太阳能电池(Perovskite Solar Cells,PSCs)的实验室器件(&l... 有机–无机杂化钙钛矿太阳能电池具有制备成本低、光电转换效率(Photoelectric Conversion Efficiency,PCE)高的巨大优势,显示出广阔的商业化前景。经过十几年的深入研究,钙钛矿太阳能电池(Perovskite Solar Cells,PSCs)的实验室器件(<1 cm^(2))、大面积器件(1~10 cm^(2))、迷你模组级器件(10~800 cm^(2))和模组级器件(>800 cm^(2))的最高认证PCE已分别提升至26.10%、24.35%、22.40%和18.60%。随着PSCs面积扩大,PCE急剧下降,这主要是因为制备方法的局限性,难以获得高质量的大面积钙钛矿薄膜。实验室器件常采用的旋涂法难以应用到实际生产中,目前大面积钙钛矿薄膜的制备方法主要有刮涂法和狭缝涂布法,但其存在薄膜成核结晶过程难以精确控制等问题。本文从大面积有机–无机杂化钙钛矿薄膜的制备方法入手,介绍了大面积钙钛矿层成膜机制及薄膜质量提升策略。最后,对未来高PCE、高稳定性的大面积PSCs的制备技术和应用进行了展望,旨在对高性能的大面积PSCs研究提供有益参考。 展开更多
关键词 钙钛矿薄膜 钙钛矿太阳能电池 大面积 成膜控制 综述
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Synthesis and Photocatalytic Property of ZnO/TiO2 Inverse Opals Films with Controllable Composition and Topology 被引量:1
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作者 Jiao Xu Bei-fang Yang +2 位作者 Zheng-ping Fu Mei-wang Wen Yong-xun Zhao 《Chinese Journal of Chemical Physics》 SCIE CAS CSCD 2012年第2期235-241,I0004,共8页
A novel method to fabricate composition- (IO) films using a positive sacrificial ZnO and topology-controlled ZnO/TiO2 inverse opals IO template has been developed. This method includes a two-step process, preparatio... A novel method to fabricate composition- (IO) films using a positive sacrificial ZnO and topology-controlled ZnO/TiO2 inverse opals IO template has been developed. This method includes a two-step process, preparation of ZnO IO by a simple electrochemical deposition using a self-assembly polystyrene colloidal crystal template and preparation of ZnO/TiO2 IO by a liquid phase deposition (LPD) process at room temperature. The composition and topology of ZnO/TiO2 IO can be easily controlled by changing the duration of the LPD. After 20 min LPD process, a ZnO/TiO2 composite IO with non-close-packed face-centered cubic air sphere array was obtained. Prolonging the duration to 60 min, a pure TiO2 IO (TIO-LPD60) with obviously thickened walls was formed. The formation mechanism for the compositional and topological variation was discussed. A preliminary study on UV photocatalytic property of the samples for degradation of methylene blue reveals that the composition and topology significantly influenced the photocatalytic activity of the IO film. The ZnO/TiO2 composite IO demonstrates a higher degree of activity than both pure ZnO and pure TiO2 IO, although they have a similar IO wall thickness. Moreover, with increasing IO wall thickness from -52 nm to -90 nm, TIO-LPD60 exhibits the highest level of photocatalytic performance. 展开更多
关键词 Composite inverse opal TiO2 ZnO PHOTOCATALYSIS Liquid phase deposition
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