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W/Si,WSi_2/Si和W/TiN纳米多层膜的成膜特性和热稳定性 被引量：1
1
作者 刘文汉 伍历文 +2 位作者 周凌云 张裕恒 许振嘉 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第7期594-596,共3页
近20年来,同步辐射光源的迅速发展为软X射线波段提供了性能优良的光源.由于通常的光学反射、透射元件在软X射线波段不能使用,在紫外波段使用的光栅单色器和在X射线波段使用的晶体单色器也由于各自的结构、性质,在软X射线波段的使用受到... 近20年来,同步辐射光源的迅速发展为软X射线波段提供了性能优良的光源.由于通常的光学反射、透射元件在软X射线波段不能使用,在紫外波段使用的光栅单色器和在X射线波段使用的晶体单色器也由于各自的结构、性质,在软X射线波段的使用受到限制.层厚为纳米量级轻/重元素层(或其他低/高电子密度层) 展开更多
关键词 多层膜 热稳定性 成膜特点 硅 钨
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