真空成膜装置用部件及使用该部件的真空成膜装置及其觇板装置

一种真空成膜装置用部件，具有部件本体和形成于所述部件本体表面的喷镀膜。喷镀膜具有局部峰顶平均间隔5为50—150μm范围、最大谷深尺。和最大峰高Rp分别为20～70μm范围的表面粗糙度。喷镀膜具有从维氏硬度HV30以下的Al系喷镀膜、维氏硬度HV100以下的Cu系喷镀膜、维氏硬度HV200以下的Ni系喷镀膜、维氏硬度HV300以下的Ti系喷镀膜、维氏硬度HV300以下的Mo系喷镀膜和维氏硬度HV500以下的W系喷镀膜中选择的低硬度覆膜。

不用真空设备的类金刚石碳膜成膜装置

日本庆应义塾大学与神奈川科学技术学会协作共同研制成功一种不需要真空设备的硬度类似于金刚石的坚硬碳膜（DLC）的成膜装置并已实用化。这种成膜装置能够将基片温度控制在200℃，能获得如同使用真空设备的成膜装置产品同等硬度（3GPa）的碳膜，而成膜速度提高了700倍以上，制造费用减低了2／3，而且能够制造大尺寸DLC膜。

美国发布CIGS型太阳能电池玻璃底板成膜装置

美国维易科精密仪器（VeecoInstruments）发布了CIGS（Cu、In、Ga、Se）型太阳能电池玻璃底板用蒸镀成膜装置“FastLine”（英文发布资料）。该装置采用易于提高制造能力的系统，每小时可最多处理30块尺寸1．1m×1．4m的玻璃底板。并且，虽未公布具体数值，

美国维易科发布CIGS型太阳能电池玻璃底板成膜装置

美国维易科精密仪器（Veeco Instruments）发布了CIGS（Cu、In、Ga、Se）型太阳能电池玻璃底板用蒸镀成膜装置“FastLine”。

ITO成膜法与离子成膜装置

ITO(Indium Tin Oxide)膜，广泛地应用于个人电脑、手机、液晶电视机等平板显示器的液晶显示装置上，而且其需求量呈越发增加之趋势。特别在最近，作为应用在有机EL显示器上的透明电极膜，ITO膜更加受到观注。

生物质桑皮纤维的绿色高效产业化开发途径

结合桑枝的特点,设计开发了桑枝剥皮机进行快速剥皮,采用循环脱胶装置对桑皮进行脱胶提取桑皮纤维和果胶,研究纤维的可纺性能,开发桑皮纤维纱线及其功能纺织品;利用成膜装置对不完全脱胶的桑皮纤维进行成膜开发非织造产品,提升产品的附加值,具有非常广阔的产业化和市场前景。

竖管降膜吸收反应器结构设计分析

竖管降膜吸收反应器是一种高效的吸收反应设备。介绍了该设备的优点、整体结构及关键部件——液体布膜器的设计要求,并详细介绍了目前工业生产中的3种液体布膜器的型式、结构及优缺点。

竖管降膜吸收反应器结构设计分析

竖管降膜吸收反应器是一种高效的吸收反应设备,介绍了该设备的优点、整体结构及关键部件——液体布膜器的设计要求,详细介绍了目前工业生产中的3种液体布膜器的型式、结构及优缺点。

香炉山隧道消防系统选择与设计

香炉山隧道全长约2400m,为目前辽宁省在建高速公路最长隧道。通过香炉山隧道消防系统的选择与设计,旨在为同类工程设计提供借鉴。

摩擦系数特低的氧化锌涂层膜

日本的物质材料研究所的一个科研小组研制成功了一种摩擦系数特低的氧化锌涂层膜制取技术。该研究小组是针对为了减少汽车之类的驱动部件由于摩擦而造成的能量损失，从而开发了这一新技术，该技术的关键部分在于建立了可全自动地变化8个成膜条件的溅射成膜装置，能够有效的控制氧化锌涂层的结晶组织。

岛津新品降低太阳能电池板生产成本

中国光伏行业最近遇到了不少麻烦，外部困扰加内需不足，有面临洗牌的危机．但是基于全球对于环保和可持续话题的关注，行业的未来毋庸置疑。岛津制作所近期在中国市场推出其为太阳能电池板生产提供支持的防反射膜成膜装置“MCXS”和电池板检查装置“SCI”系列的新产品。

岛津公司发布新品提升光伏电池效率

本刊从本届SNEC大会上获悉，针对晶体硅太阳电池片的生产工艺，岛津制作所即将展开减反射膜成膜装置“MCXS”以及检查装置“SCI”系列2种机型的销售。

日本产综研开发超薄HfO2栅绝缘膜制造技术

日本产业技术综合研究所开发出可降低下一代LSI电耗的超薄（0．5nm）高介电率HfO2栅绝缘膜制造技术。此前，用实验室成膜装置制得过优质的结晶薄膜，但在批量生产时，