带截尾控制的双极性高压脉冲电源研究

在此基于一类双极性高压脉冲发生电路拓扑提出了一种带主动截尾的改进型控制策略。该拓扑是将全固态单极性Marx电路和全桥结构相结合构成可级联全固态双极性Marx单元。在不增加半导体开关数量的前提下,通过在双极性高压脉冲电源中引入主动截尾控制,实现了双极性脉冲下降沿陡化,将下降沿时间控制在20ns以内。研制了一台双极性高压脉冲电源原理样机,并进行了实验验证。结果表明主动截尾控制方法显著陡化了脉冲下降沿,并提升了双极性脉冲放电的能量利用效率和含氮激发态成分浓度。