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氮化铝高温隧道烧结炉截面加热单元温度均匀性研究
1
作者
何永平
杨金
+3 位作者
文正
陈特超
陈庆广
余洋
《电子工业专用设备》
2023年第3期15-18,36,共5页
建立氮化铝高温隧道烧结炉体截面加热单元仿真模型,针对加热器不同分布情况对温度场的影响进行分析计算,结果表明,在基片载盘两侧与上部布置发热体时基片载盘截面具有更好的加热均匀性。该加热器分布方式在实际研制设备上也取得了较好...
建立氮化铝高温隧道烧结炉体截面加热单元仿真模型,针对加热器不同分布情况对温度场的影响进行分析计算,结果表明,在基片载盘两侧与上部布置发热体时基片载盘截面具有更好的加热均匀性。该加热器分布方式在实际研制设备上也取得了较好的截面温度均匀性。
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关键词
氮化铝
高温隧道烧结
仿真模型
截面加热单元
温度均匀性
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职称材料
题名
氮化铝高温隧道烧结炉截面加热单元温度均匀性研究
1
作者
何永平
杨金
文正
陈特超
陈庆广
余洋
机构
中国电子科技集团公司第四十八研究所
出处
《电子工业专用设备》
2023年第3期15-18,36,共5页
文摘
建立氮化铝高温隧道烧结炉体截面加热单元仿真模型,针对加热器不同分布情况对温度场的影响进行分析计算,结果表明,在基片载盘两侧与上部布置发热体时基片载盘截面具有更好的加热均匀性。该加热器分布方式在实际研制设备上也取得了较好的截面温度均匀性。
关键词
氮化铝
高温隧道烧结
仿真模型
截面加热单元
温度均匀性
Keywords
AlN
High-temperature tunnel sintering
Simulation model
Cross section heating unit
Temperature uniformity
分类号
TN304.05 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮化铝高温隧道烧结炉截面加热单元温度均匀性研究
何永平
杨金
文正
陈特超
陈庆广
余洋
《电子工业专用设备》
2023
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