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薄膜截面的TEM样品制备
被引量:
5
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作者
戴嘉维
孔明
《理化检验(物理分册)》
CAS
2006年第5期239-241,共3页
针对用于透射电镜观察的截面样品制备较为困难的问题,以不锈钢基底上沉积的VN/SiO2超晶格薄膜为例,介绍了薄膜截面TEM样品的制备方法与过程。
关键词
薄膜
截面tem样品制备
超晶格
下载PDF
职称材料
题名
薄膜截面的TEM样品制备
被引量:
5
1
作者
戴嘉维
孔明
机构
上海交通大学材料学院-Buehler公司联合实验室
出处
《理化检验(物理分册)》
CAS
2006年第5期239-241,共3页
文摘
针对用于透射电镜观察的截面样品制备较为困难的问题,以不锈钢基底上沉积的VN/SiO2超晶格薄膜为例,介绍了薄膜截面TEM样品的制备方法与过程。
关键词
薄膜
截面tem样品制备
超晶格
Keywords
Thin films
Cross sectional
tem
sample preparation
Superlattice
分类号
TG115.221.2 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
薄膜截面的TEM样品制备
戴嘉维
孔明
《理化检验(物理分册)》
CAS
2006
5
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