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题名框架载片台打凹深度对塑封针孔的影响
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作者
石海忠
陈巧凤
朱锦辉
贾红梅
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机构
南通富士通微电子股份有限公司
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出处
《电子与封装》
2011年第11期1-3,17,共4页
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文摘
圆片制造技术的不断提升有效缓解了单位芯片的成本压力,同样功能的芯片尺寸越来越小,封装工艺也迫切面临提升的要求,尤其是小芯片极易在塑封工序产生背面针孔等方面的问题,这对塑封工艺提出了新的挑战。文中针对小芯片在塑封工艺中产生针孔的原理进行了深入分析,重点通过一系列试验改善针孔发生的比例,其中框架载片台打凹深度对针孔发生有重要影响,最终通过调整和优化载片台打凹深度值,有效解决了小芯片封装过程中容易产生塑封体背面针孔的问题,从而稳定了塑封的生产效率、产品合格率等。
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关键词
载片台
打凹深度
小芯片
模腔
针孔
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Keywords
die pad
down set
small dies
cavity
pinhole
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分类号
TN305.94
[电子电信—物理电子学]
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