基于遗传算法的电子光学系统优化设计

提出了一种以模拟自然界生物进化过程的全局优化搜索方法——遗传算法(GA)优化设计电子光学系统的新方法。该方法以电子光学系统的球差系数为搜索目标,求出优化的系统几何结构参数和电参数。通过对等径四电极扩展场静电透镜(EFL)的优化设计,表明了该方法的有效性。