基于MEMS的扩张管／收缩管内流动特性分析

扩张管/收缩管作为无阀微泵的关键组件,其结构参数直接影响微泵的泵送效率和工作性能。本文作者利用有限元软件ANSYS/Flotran对扩张管和收缩管内流体进行了数值模拟,结果表明:在不同的进出口压差下效率随扩张角的变化趋势不同;扩张管无论是在高压下还是低压下,都会出现压力复现,而分离流动和回流只会出现在高压或较大扩张角的情况下;收缩管内流体流动稳定,则不会出现压力复现、分离流动和回流。

基于MEMS的无阀泵研究进展

微流体控制系统是微机电集成系统(MEMS)一个主要分支,微泵作为微流体控制系统的重要组成部分,根据其有无阀片可分为有阀型微泵和无阀型微泵。无阀型微泵由于其结构相对简单、制造工艺要求不高,因而有着独特的发展优势。主要介绍了基于MEMS的扩张管/收缩管型无阀泵几年来在结构设计、制作工艺等方面的研究成果、现状和发展前景。