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离子镀TiN膜层扩散壁障作用的试验研究
被引量:
1
1
作者
刘德浚
王少刚
王介淦
《南京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
1995年第6期851-856,共6页
利用离子镀方法在基体与耐热涂层之间予先沉积一层TiN膜层,作为扩散壁障(中间阻挡层),进行了高温阻扩散试验研究,并应用光镜、电镜、X射线衍射仪及电子探针等手段对试样氧化区域进行了分析。结果表明,有TiN中间层试样、其...
利用离子镀方法在基体与耐热涂层之间予先沉积一层TiN膜层,作为扩散壁障(中间阻挡层),进行了高温阻扩散试验研究,并应用光镜、电镜、X射线衍射仪及电子探针等手段对试样氧化区域进行了分析。结果表明,有TiN中间层试样、其高温抗氧化性明显提高,TiN层在一定温度范围内有良好的稳定性和阻扩散作用;在本试验范围内,TiN中间层厚度增加阻扩散效果增强。
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关键词
离子镀
氮化钛
耐热性
扩散壁障
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职称材料
题名
离子镀TiN膜层扩散壁障作用的试验研究
被引量:
1
1
作者
刘德浚
王少刚
王介淦
机构
南京航空航天大学材料科学与工程系
出处
《南京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
1995年第6期851-856,共6页
基金
航空科学基金
文摘
利用离子镀方法在基体与耐热涂层之间予先沉积一层TiN膜层,作为扩散壁障(中间阻挡层),进行了高温阻扩散试验研究,并应用光镜、电镜、X射线衍射仪及电子探针等手段对试样氧化区域进行了分析。结果表明,有TiN中间层试样、其高温抗氧化性明显提高,TiN层在一定温度范围内有良好的稳定性和阻扩散作用;在本试验范围内,TiN中间层厚度增加阻扩散效果增强。
关键词
离子镀
氮化钛
耐热性
扩散壁障
Keywords
ion plating
titanium nitride
heat resistance
TiN film
diffusion barrier
high temperature exvironment
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离子镀TiN膜层扩散壁障作用的试验研究
刘德浚
王少刚
王介淦
《南京航空航天大学学报》
EI
CAS
CSCD
1995
1
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职称材料
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