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研究扩散屏障层对Mo/Si多层膜软X射线反射率影响的模拟 被引量：6
1
作者 秦俊岭 邵建达 +1 位作者 易葵 范正修 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期300-303,共4页
在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射率的影响.研究发现,扩散屏障层并不总是损害Mo/Si多层膜的光学性能,通过合理设计dMo-on-Si和dSi-on-Mo厚... 在特定波长下,用四层结构模型模拟了Mo/Si多层膜的软X射线反射率.研究了扩散屏障层dMo-on-Si和dSi-on-Mo对Mo/Si多层膜软X射线反射率的影响.研究发现,扩散屏障层并不总是损害Mo/Si多层膜的光学性能,通过合理设计dMo-on-Si和dSi-on-Mo厚度,增加dMo-on-Si与dSi-on-Mo的比值,也能提高多层膜的软X射线反射率. 展开更多
关键词 软X射线 多层膜 扩散屏障层 MO/SI 反射率 模拟
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