热电偶传感器在半导体生产中的应用及误差分析

温度在半导体的生产中起着至关重要的作用。温度的检测和控制靠热电偶传感器,温度的准确不仅决定于测温的原理、热电偶传感器的类型、测量的设备,而且还决定于测试的方法。