扩散硅压阻式压力传感器非线性误差纠正方法

针对扩散硅压阻式压力传感器非线性误差纠正易受到误差传递算法的影响,导致纠正后最大相对波动较高的问题,本文提出基于恢复函数的压力传感器非线性误差纠正方法。采集扩散硅压阻式压力传感器信号数据,去除噪音信号,以恢复函数为基础,设计传感器的非线性误差传递算法;利用支持向量机算法构建非线性误差校正模型,再通过遗传算法优化模型参数,实现误差的良好补偿。实验结果表明:本文所提出的纠正方法应用效果与文献相比,传感器的最大相对波动分别降低了13.53%与7.08%,具有更优的应用性能,值得推广。

扩散硅压力传感器失效研究

扩散硅压力传感器具有精度高、利于小型化和智能化等特点而被广泛使用。针对该类传感器出现的不同失效模式,合理采用X射线检测系统、OBIRCH定位、荧光定位和SEM&EDS等技术,可以快速准确地定位失效位置。列举了芯片破裂、过电击穿、腐蚀迁移和连接不良等典型的失效案例,并介绍了在实际分析过程中如何应用上述定位分析手段,对分析类似失效案例起到了一定的参考作用。

扩散硅压力变送器的曲面拟合补偿

为解决扩散硅压力传感器因非线性特性及易受温度影响从而导致其测量精度降低这一问题,提出了基于最小二乘曲面拟合的补偿方案。建立了传感器的被测压力、工作温度和输出电压间的曲面拟合数学模型,在获得传感器的输出电压和工作温度后能简便地计算出被测点的压力值。实验表明,该算法具有较高的补偿精度。由于所建拟合模型阶次较低,因此补偿计算所需时间短,保证了补偿算法的可行性。

扩散硅压力传感器在水力模型实验装置液位测控中的应用

基于扩散硅压力传感器良好线性标准输出,结合方便的校验、标定方法,通过接口电路,将扩散硅压力传感器作为压力测量元件,应用于水力模型实验装置过程控制系统.该设计不仅使测量精度得到提高,克服了量程迁移误差,而且由于它采用标准输出,易于实现多点集成化、数字化网络测量与控制.

高精度扩散硅绝对压力计的研制

采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件 ,研制出高精度绝对压力计 ,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿。

扩散硅力敏传感器平面工艺CAD——制作扩散电阻的工艺参数设计

扩散硅力敏传感器ＣＡＤ 的技术包括３ 大部分：传感器平面工艺ＣＡＤ；传感器芯片结构ＣＡＤ；传感器结构ＣＡＤ．平面工艺ＣＡＤ 是根据半导体技术的理论，将氧化、注入、退火、再扩、腐蚀、淀积等工艺的物理模型用数学语言建立起数学模型，再利用计算机进行数值计算，使传感器芯片平面工艺流程的实验过程移植到计算机上进行，通过对工艺参数仿真计算，实现了传感器平面工艺的ＣＡＤ技术。制作传感器扩散电阻需要多个平面工艺步骤，每个工艺步骤都需要确定几个工艺参数，而任意一个工艺参数的变化都将对器件的最终特性有影响。因此在设计传感器时，平面工艺的ＣＡＤ技术将起到重要作用。扩散硅力敏传感器平面工艺ＣＡＤ是基于ＩＣＥＣＲＥＭ 软件进行的。

扩散硅压力传感器灵敏度温度漂移的调整

根据扩散硅压力传感器灵敏度温漂产生的原理，分析了灵敏度与温度的关系。并依据实验数据论述了灵敏系数和扩散表面杂质浓度的关系以及电阻温度系数与表面杂质浓度的关系。简单介绍通过调整和控制表面杂质浓度等参数，得到所需的灵敏度温度漂移曲线。

提高扩散硅压力传感器质量的几项措施

本文介绍了在工业变送器用扩散硅压力传感器的工程化研究中，为提高其质量而采取的几项技术措施。通过这些措施的实施，使传感器的工程化生产实现了保证质量、降低成本、提高成品率的目的。

基于DZ-H扩散硅液位变送器的水位测量系统设计

目前国内主要通过浮子式水位计、压力式水位计、超声波水位计等技术进行水位的监测控制,存在着读数波动大、实时性差、投入成本高等缺点。基于DZ-H扩散硅液位变送器进行了外围硬件电路与软件设计,并进行了水位测量实验。实验结果表明:设计的DZ-H扩散硅液位变送器测量电路工作可靠,由于温度引起的最大温漂为0.07 mA/℃,测量液位时的误差不超过0.04 m,精度较高。该设计可实时监测水位的变化,动态显示数据,且不受水底淤积等因素对测量数据的影响。

扩散硅压力传感器结构设计及封装工艺研究

本文比较详细地探讨了现今应用很广的几种扩散硅压力传感器的结构及封装工艺,提出了全固态隔离膜片结构的基本封装形式,并对传感器结构设计和封装时必须注意的问题和基本参数进行了探讨。

EI型扩散硅力敏器件工艺技术研究

本文叙述的EI型扩散硅力敏器件为工业变送器配套使用的微差压传感器,其压力量程为0.6kPa,线性优于0.5％。该器件填补国内空白,器件性能指标达到国际80年代中期同类产品先进水平。

扩散硅压力传感器及其温度补偿

讨论了扩散硅压力传感器及其温度补偿问题，给出了压力传感器模拟补偿和基于微处理器迸行数字补偿的一般方法。数字补偿方法可将压力传感器的精度提高到 0．05％～01％ FS。

扩散硅压阻传感技术的研究现状与发展趋势

扩散硅固态压阻传感器广泛应用于航空航天等军事和民用工业中 ,而它的压阻应变传感元件主要是用压阻效应制成的 ,并具有优于其他传感元件的特点。本文详细论述了扩散硅压阻传感器的发展过程及我国的研究现状 ,并展望了其未来向即小型化、数字化、智能化。

扩散硅压力传感器的综合补偿及其应用

针对扩散硅压力传感器所存在的温度漂移和非线性等问题，分析并建立了对其实现综合补偿的方程式，并利用单片机予以实现，最终使数字压力计的精度达到0．05级。

扩散硅压力变送器温度补偿研究

扩散硅压力变送器测量精度高、动态响应快。当把它应用于温度变化范围较大的环境时,虽然变送器内部进行了硬件温度补偿,它的零点迁移还会随温度变化较大。通过实验测得一组扩散硅压力变送器随温度变化的零点迁移数据,然后采用分段线性插值法得到一个随温度变化的零点迁移补偿函数。在实际应用中利用零点迁移函数对各个温度点进行软件零点迁移补偿,从而可以大大提高信号检测精度。

扩散硅压力传感器自动测试补偿系统设计

采用“一桥两测”技术，以微机为核心设计了扩散硅压力传感器的自动测试补偿系统。

扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究

本文简要介绍了扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构 ,重点分析了传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法 。

扩散硅压力传感器的高精度误差补偿算法

扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大,必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦,从而实现对压力传感器输出的有效补偿,进而得到准确可靠的压力测量值。文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成,针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型,建立了有效算式,最后通过实例验证了算法的正确性,其精度可达到0.1%FS以下。

扩散硅压力传感器工艺过程的FMECA分析

通过将扩散硅压力传感器的每一道工序作为“部件或元件”，构成“工艺”的可靠性框图，进行ＦＭＥＣＡ分析；指出了各个工艺所产生的失效模式、失效原因、失效效应和改进措施。

扩散硅压力变送器在水位控制系统中的应用

介绍了用扩散硅压力变送器测量水位信号的原理和方法,并且利用扩散硅压力变送器作为水位检测部件,结合组态监控技术,组成了实用的水位控制系统。