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金属诱导非晶硅(横向)结晶的扩散诱导模型
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作者 邱春文 罗以琳 《汕头大学学报（自然科学版）》 2004年第1期46-49,54,共5页
为了能定性定量解释金属诱导非晶硅薄膜结晶实验中所遇到的一系列现象 ,提出一套扩散诱导结晶模型 。
关键词 金属诱导结晶 非晶硅薄膜 扩散诱导模型 半导体 横向结晶
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