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窄线宽准分子激光腔内棱镜扩束器的优化设计
被引量:
5
1
作者
张海波
袁志军
+3 位作者
周军
董景星
魏运荣
楼祺洪
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期47-52,共6页
棱镜扩束器(PBE)广泛用在准分子激光腔内光谱压窄系统中,可以有效降低光束发散角和系统内能量密度。为了实现窄线宽激光输出并降低腔内损耗,需要对棱镜扩束器的棱镜个数、单棱镜扩束倍数和棱镜顶角进行优化设计。根据棱镜扩束倍数的理论...
棱镜扩束器(PBE)广泛用在准分子激光腔内光谱压窄系统中,可以有效降低光束发散角和系统内能量密度。为了实现窄线宽激光输出并降低腔内损耗,需要对棱镜扩束器的棱镜个数、单棱镜扩束倍数和棱镜顶角进行优化设计。根据棱镜扩束倍数的理论,数值分析了入射角、顶角和出射角对棱镜扩束倍数的影响,并在实验上很好地验证了扩束倍数与入射角的关系。此外,推导了激光器线宽压窄系统实现一定激光线宽输出所需的总棱镜扩束倍数。优化设计了扩束倍数M为13.3的氟化钙消色散棱镜扩束器,在此基础上,实现了0.915pm的窄线宽ArF激光输出,实验结果与理论设计吻合。
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关键词
激光器
准分子激光器
棱镜
扩
束
器
扩束倍数
原文传递
题名
窄线宽准分子激光腔内棱镜扩束器的优化设计
被引量:
5
1
作者
张海波
袁志军
周军
董景星
魏运荣
楼祺洪
机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
中国科学院研究生院
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期47-52,共6页
基金
国家重大科技专项资助课题
文摘
棱镜扩束器(PBE)广泛用在准分子激光腔内光谱压窄系统中,可以有效降低光束发散角和系统内能量密度。为了实现窄线宽激光输出并降低腔内损耗,需要对棱镜扩束器的棱镜个数、单棱镜扩束倍数和棱镜顶角进行优化设计。根据棱镜扩束倍数的理论,数值分析了入射角、顶角和出射角对棱镜扩束倍数的影响,并在实验上很好地验证了扩束倍数与入射角的关系。此外,推导了激光器线宽压窄系统实现一定激光线宽输出所需的总棱镜扩束倍数。优化设计了扩束倍数M为13.3的氟化钙消色散棱镜扩束器,在此基础上,实现了0.915pm的窄线宽ArF激光输出,实验结果与理论设计吻合。
关键词
激光器
准分子激光器
棱镜
扩
束
器
扩束倍数
Keywords
lasers
excimer laser
prism beam expander
magnification of beam expander
分类号
TN242 [电子电信—物理电子学]
TN248.2 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
窄线宽准分子激光腔内棱镜扩束器的优化设计
张海波
袁志军
周军
董景星
魏运荣
楼祺洪
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
原文传递
已选择
0
条
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引用分析
参考文献
引证文献
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