扫描电子热声显微镜及其微区分析技术

扫描电子热声显徽术及其微区分析技术统称为扫描电子热声波技术。本文简述扫描电子热声显微镜成象的物理过程和基本原理,介绍扫描电子热声波技术的工作模式和实验装置,并简单综述了扫描电子热波技术的应用与发展前景。