扫描探针加工技术的新进展及扫描等离子体加工技术的研究

扫描探针加工技术作为一种无掩模微细加工手段以其所需设备简单和加工精度高达纳米量级等优点 ,近年来受到广泛的重视和研究。但目前扫描探针加工技术存在加工效率低、可重复性差、可加工材料非常有限等缺点。采用探针阵列并结合其他加工技术的并行工艺 ,可以提高加工效率 ,拓展应用范围。本文以纳米喷流加工和蘸水笔纳米加工为例介绍了扫描探针加工技术这一方面的最新进展 ,阐述了它们各自的基本原理和特点。最后 ,提出了一种基于并行探针驱动的扫描等离子体加工技术 ,结合了扫描探针加工精度高和等离子体加工适用材料广泛的优点 ,为小批量多品种微系统和纳米器件的加工探索出一种新方法。

纺织加工中的等离子体技术应用现状及基本问题

纺织材料的等离子体改性在理论上已有较全面和充分的发展,并有实验室和小试性加工然而,等离子体技术在纺织领域中的工业化应用程度极低。开发适于纺织加工的等离子体工业化设备;明晰最有效的加工工序的嵌入;优化实用工艺条件和降低工业加工成本,是这一清洁化加工技术在纺织加工中工业化应用的基本问题。

等离子体技术在羊毛染整加工中的应用

随着环保标准的日益提高,传统的羊毛表面改性技术的使用受到越来越多的限制。等离子体技术不但能够克服传统羊毛处理方法的缺陷,而且能使处理后的羊毛织物性能得到明显提高。文章重点讨论了等离子体技术的基本原理及其在羊毛织物染整加工中的应用,包括提高防毡缩性、改善吸湿性、抗静电性、染色性等,同时分析了等离子体技术的局限性并提出了相应的克服方法。从发展趋势看,等离子体技术在织物表面改性方面有很大的发展潜力。

等离子体加工技术若干方向及相关科学工程问题

随着现代制造技术的不断发展,等离子体加工技术的应用日益普遍,其地位也日益显著。因为此类过程的复杂性及学科交叉性,要求从事该领域的研究人员具有扎实的物理、化学、数学基础和相应的工程技术知识。要使这些技术真正成功应用,首先,工艺必须是成熟的;其次,必须准确地进行经济效益分析。

用于扫描刻蚀加工的微小等离子体反应器的设计和实验

提出了一种新的基于并行探针的扫描等离子体刻蚀加工方法,设计并研制了其中的核心器件——微小等离子体反应器,测量了该器件的伏安特性曲线,分析了其电学性能随工作气压和器件尺寸的变化规律,以及器件损坏的机制,实验结果表明,当放电气体为SF6,工作气压在2 000-6 000 Pa之间变化时,该器件能产生较为稳定的微等离子体,放电电压在390-445 V之间,功率密度在10-150 W/cm2之间,从而为进一步将其应用到扫描硅刻蚀加工提供可能。

低温等离子体技术在纺织加工中的应用现状

本文介绍了低温等离子体的产生方法，及国内应用于纺织加工中的低温等离子体设备的研制情况，并论述了低温等离子体技术在纺织品表面改性中的应用现状，以及未来的发展趋势。

等离子体技术在微细加工中的应用

简要介绍了等离子体技术和微细加工技术。叙述了等离子体技术在微细加工技术的三个主要方面———微细图形加工、离子注入、薄膜沉积———中的应用。

低温等离子体技术在纺织品中的应用

等离子体是物质聚集态的第四态 ,是由极具反应活性的电子、离子、自由基、激发态的原子、分子等活性粒子组成的集合体。文中阐述了等离子体技术的特点、等离子体的性质、发生方法及对纺织材料 (织物、纱线、纤维 )的作用方式、原理及在纺织印染方面的应用方向。

低温等离子体技术及其处理装置

介绍了低温等离子体处理技术的反应机理、加工特点,以及用于家用纺织品的加工处理装置。

等离子体技术在纺织行业的应用及问题

等离子体技术在纺织印染业中的应用始于20世纪70年代，我国从80年代开始将等离子体技术应用到纺织工业中。在纺织加工过程中，等离子体可作用于织前的上浆过程，使纱线上浆均匀；在印染前处理过程中，等离子体技术能够优化织物的退浆、精练，提高前处理效率，还可以改进染色和印花工艺，使工艺高效、经济、环保；

安哥拉兔毛的等离子体加工技术

安哥拉兔毛纤维家庭手工业安哥拉兔毛纤维产量是全球继羊毛和马海毛之后而位居第三的动物纤维。在全球安哥拉兔毛纤维贸易中，中国占首要地位，全球接近90％的安哥拉兔毛纤维都在中国加工，而印度每年只有40t的产量。

基于大气等离子体烧结技术的硅晶圆加工废料回收工艺研究

目前的硅晶圆加工过程中通常会对直拉法制成的单晶硅棒进行线切割操作,从而得到单晶硅圆薄片,但该过程会造成较大的单晶硅材料浪费.因此,寻求各种方法回收晶体硅切割废料成为一个重要课题.本文根据加工样本与加工仪器的特性,探究了利用放电等离子体烧结技术加工回收单晶硅粉末技术的可能性,并基于这些成果调节工艺参数进行了烧结实验.通过表征观察烧结成品的表面形貌与元素组成后,可观察到其含有氧化膜与其他杂质,且该成品具有在经过优化实验步骤与进一步处理后可回收的潜力.

安哥拉兔毛的等离子体加工技术

安哥拉兔毛纤维具有空腔结构，可将空气封闭在内．上述结构使其具有高绝热性和极轻的重量，可加工为保暖效果极佳的服装。但因纤维表面光滑的特性，只能采取手持纱锭手工纺纱的加工方式，生产率很低；且在加工时造成静电荷集聚．从而影响加工。等离子体技术的发展已成为安哥拉兔毛纤维家庭手工业发展的一条途径。将空气作为气体源的等离子体加工是高附加值的技术，增加了兔毛纤维间的抱合力，便于加工，为安哥拉兔毛产品提供市场机会。

等离子体基离子注入技术发展及其应用

等离子体基离子注入是一新型的材料表面改性技术,它克服了传统离子注入视线加工的缺陷,可处理复杂形状工件,并可批量生产,生产效率高,设备成本低。本文简述了等离子体基离子注入的原理、特点及其工业的应用,并指出等离子体基离子注入技术与其他镀膜技术相结合是今后的发展趋势。

等离子体技术在印制电路板制造中的应用

等离子体加工是在半导体制造中创立起来的一种技术。等离子体是指一种像紫色光、霓虹灯光一样的光，也被称为物质的第四相态。等离子体相态是由于原子中激化的电子和分子无序运动的状态，所以具有相当高的能量，其对于任何有机材料都具有很好的蚀刻作用，因此被应用到印制电路板的制造中来。

等离子体处理新技术

纤维和织物等离子体处理技术研究已有40多年历史,但在纺织品湿加工领域,等离子体技术的应用主要集中在产业用纺织品。

应用低温等离子体技朮 更好地对食品表面进行杀菌

随着生活水平的提高,消费者对食品安全日益重视,对食品加工和保存过程中微生物的控制方法也提出了更高的要求。为了提高食品的安全性,通常采用热杀菌,但热杀菌会影响食品的营养及感官品质,甚至可能产生丙烯酰胺、呋喃等有毒有害物质。超高压、辐照、超声波、紫外线、臭氧、低温等离子体(low temperature plasma,LTP)等非热杀菌技术避免了热杀菌的局限,逐渐受到人们的重视。

Norsk Titanium公司快速等离子体沉积技术获巨额投资

2017年6月，Norsk Titanium（以下简称NTi）公司获得美国福特雷斯投资集团（Fortress Investment Group）旗下Triangle Holdings的巨额投资，相关细节尚未披露。该笔投资将主要用于进一步发展该公司特有的快速等离子体沉积技术，利用该项技术可将钛及钛合金丝材直接加工成复杂的零部件。

往复走丝电火花线切割加工放电通道等离子体的观测研究

通过实验直接观测电火花加工放电通道等离子体的物理现象,对分析其微观过程和机理具有重要意义。往复走丝电火花线切割加工过程中电极丝与工件之间的相对移动速度较大,其放电通道等离子体的发展过程与传统电火花加工有一定差异。利用高速摄像技术,对往复走丝电火花线切割加工单脉冲放电过程中的放电通道等离子体进行观测研究。结果表明:在脉冲放电过程中,放电通道等离子体沿着工件表面持续滑移,滑移方向与电极丝移动方向一致;脉冲放电期间有大量金属蒸气被抛出,脉冲结束阶段有大量熔融金属被抛出;金属蒸气与熔融金属的抛出方向主要沿着电子运动方向,该现象表明材料去除主要为电子对工件材料的蚀除作用。

等离子体技术在冶金中的应用

等离子技术作为一种非常规手段，在；台金、化工、焊接、切割、磁流体发电、微电子加工、材料的表面改性等工业领域逐渐得到广泛的应用。