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扫描近场声显微镜用于光盘表面薄膜结构的研究 被引量:2
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作者 徐平 蔡微 +2 位作者 余威 钱建强 姚骏恩 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第4期313-315,共3页
介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM),并利用该装置对CD-R光盘表面薄膜进行了检测,得到了其平整印刷面的SNAM图像,与原子力显微镜(AFM)测得的凹槽数据面形貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基... 介绍了一种将超声检测技术与扫描探针显微技术相结合的扫描近场声显微镜(SNAM),并利用该装置对CD-R光盘表面薄膜进行了检测,得到了其平整印刷面的SNAM图像,与原子力显微镜(AFM)测得的凹槽数据面形貌吻合。文中介绍了这种SNAM的结构、基本工作原理和检测方法,并给出了具体的实验结果。 展开更多
关键词 检测技术 扫描探针显微技术 扫描近场声显微镜 CD—R光盘膜
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基于微力传感的扫描近场声显微镜 被引量:1
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作者 王生 张鸿海 +1 位作者 汪学方 徐龙 《工具技术》 北大核心 2000年第4期31-32,共2页
描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜 (SNAM )。以谐振频率为 1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面 ,在此过程中晶振受到流体阻尼 ,其振动特性发生变化 ,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌信息... 描述了一种用于检测超精表面形貌的扫描近场声显微镜 (SNAM )。以谐振频率为 1MHz的未封装伸长型晶振作为微力传感器逼近样品表面 ,在此过程中晶振受到流体阻尼 ,其振动特性发生变化 ,通过检测振动幅值的变化即可获得样品表面形貌信息。在分析SNAM检测机理的基础上设计了SNAM系统 。 展开更多
关键词 扫描近场声显微镜 微力传感器 分辨率
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Scanning near-field acoustic microscope and its application
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作者 XU Ping,CAI Wei & WANG RongMing Key Laboratory of Micro-nano Measurement-Manipulation and Physics (Ministry of Education) Department of Physics,Beihang University,Beijing 100191,China 《Science China(Technological Sciences)》 SCIE EI CAS 2011年第1期126-130,共5页
Scanning near-field acoustic microscope (SNAM) combines the ultrasonic detection technology with scanning near-field microscopy. The main characteristic of such microscope is that the acoustic wave is produced or de... Scanning near-field acoustic microscope (SNAM) combines the ultrasonic detection technology with scanning near-field microscopy. The main characteristic of such microscope is that the acoustic wave is produced or detected in near-field area whether ultrasonic transducer acts as generator or detector. The resolution of SNAM can reach to nanometer scale. First, two typical SNAMs, scanning electron acoustic Inicroscope and scanning probe acoustic microscope, will be introduced in this paper. The working principle of our homemade SNAM based on a commercial scanning probe microscope will be reported, together with some recent results from this homemade SNAM. 展开更多
关键词 scanning near-field acoustic microscope ultrasonic detection technology scanning probe microscopy
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