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扫描静电力显微镜及其电荷捕获/释放技术 被引量:3
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作者 王志勇 张鸿海 +2 位作者 鲍剑斌 郭文明 汪学方 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期232-237,共6页
介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现... 介绍扫描静电力显微测量及用其实现电荷捕获释放的技术现状、发展动向 ,以及关键技术的一些最新成果。前者已被广泛应用于测量半导体表面电荷密度分布、表面电势以及铁电材料铁电体结构的研究中 ;后者可望用于研制速度和存贮容量都比现在提高成千上万倍的量子器件。最后 。 展开更多
关键词 扫描探针显微镜 扫描显微镜 静电力显微镜 电荷存储 捕获释放技术 扫描静电力显微镜 量子器件 测量技术 铁电材料 半导体 微晶振
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纳米级Z轴坐标测量系统设计与实验 被引量:1
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作者 冯旭刚 冯同磊 +3 位作者 章家岩 徐驰 费业泰 张鹏 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第11期417-422,共6页
基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态... 基于最小化阿贝误差的理念,设计了带有重力补偿器的整体结构对称的Z轴测量平台,其次,使用扫面静电力显微镜组成配套的探针系统,最后,对设计的核心内容分两组进行分离测试以验证设计的合理性与有效性。测试首先验证了测量系统分别在静态和动态下重力补偿器的可行性,然后验证经过双高度法补偿后的扫描静电力显微镜探针系统的有效性,实验结果表明,设计的纳米级Z轴坐标测量系统可实现超高精度空间分辨率,具有50 mm的有效行程范围,同时具有对部分非导体的测量能力,使得微纳米测量机的适用范围得到延伸,具有较高的应用价值。 展开更多
关键词 微纳米测量 重力补偿器 扫描静电力显微镜探针系统 双高度法
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Robust reduction of graphene fluoride using an electrostatically biased scanning probe
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作者 Woo-Kyung Lee Stanislav Tsoi +6 位作者 Keith E. Whitener Rory Stine Jeremy T. Robinson Jonathon S. Tobin Asanka Weerasinghe Paul E. Sheehan Sergei F. Lyuksyutov 《Nano Research》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第11期767-774,共8页
We report a novel and easily accessible method to chemically reduce graphene fluoride (GF) sheets with nanoscopic precision using high electrostatic fields generated between an atomic force microscope (AFM) tip an... We report a novel and easily accessible method to chemically reduce graphene fluoride (GF) sheets with nanoscopic precision using high electrostatic fields generated between an atomic force microscope (AFM) tip and the GF substrate. Reduction of fluorine by the electric field produces graphene nanoribbons (GNR) with a width of 105-1,800 nm with sheet resistivity drastically decreased from 〉1 TΩ.sq.^-1 (GF) down to 46 kΩ.sq.^-1 (GNR). Fluorine reduction also changes the topography, friction, and work function of the GF. Kelvin probe force microscopy measurements indicate that the work function of GF is 180-280 meV greater than that of graphene. The reduction process was optimized by varying the AFM probe velocity between 1.2 μm.s^-1 and 12 μm.s^-1 and the bias voltage applied to the sample between -8 and -12 V. The electrostatic field required to remove fluorine from carbon is -1.6 V.nm-1. Reduction of the fluorine may be due to the softening of the C-F bond in this intense field or to the accumulation and hydrolysis of adventitious water into a meniscus. 展开更多
关键词 graphene fluoride GRAPHENE electrostatic lithography Kelvin force probemicroscopy atomic force microscopy-based electrostaticnanolithography(AFMEN)
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