期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
冲击式微位移机构的性能测试与分析 被引量:2
1
作者 王文伟 包文清 +2 位作者 胡翘 邬晓华 黄文浩 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期132-136,共5页
我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析,测定了叠片式压电元件的有效压电常数,比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果,测试了微位移机构的工作步长和工作速度,以及在斜面上的爬行能力。同时... 我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析,测定了叠片式压电元件的有效压电常数,比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果,测试了微位移机构的工作步长和工作速度,以及在斜面上的爬行能力。同时我们通过分析和选择驱动波型参数,更好地控制了微位移机构的行进方向和速度。 展开更多
关键词 微位移机构 扫物型波 冲击式 性能测试 SPM
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部