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冲击式微位移机构的性能测试与分析
被引量:
2
1
作者
王文伟
包文清
+2 位作者
胡翘
邬晓华
黄文浩
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1999年第1期132-136,共5页
我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析,测定了叠片式压电元件的有效压电常数,比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果,测试了微位移机构的工作步长和工作速度,以及在斜面上的爬行能力。同时...
我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析,测定了叠片式压电元件的有效压电常数,比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果,测试了微位移机构的工作步长和工作速度,以及在斜面上的爬行能力。同时我们通过分析和选择驱动波型参数,更好地控制了微位移机构的行进方向和速度。
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关键词
微位移机构
扫物型波
冲击式
性能测试
SPM
下载PDF
职称材料
题名
冲击式微位移机构的性能测试与分析
被引量:
2
1
作者
王文伟
包文清
胡翘
邬晓华
黄文浩
机构
中国科技大学精密机械与精密仪器系
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1999年第1期132-136,共5页
文摘
我们建立了一套系统用来驱动冲击式微位移机构并实现数据的实时采集和分析,测定了叠片式压电元件的有效压电常数,比较了锯齿波和抛物波对微位移机构的驱动效果,测试了微位移机构的工作步长和工作速度,以及在斜面上的爬行能力。同时我们通过分析和选择驱动波型参数,更好地控制了微位移机构的行进方向和速度。
关键词
微位移机构
扫物型波
冲击式
性能测试
SPM
Keywords
STM
micro displacement mechanism
parabolical wave
分类号
TH703.8 [机械工程—精密仪器及机械]
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
冲击式微位移机构的性能测试与分析
王文伟
包文清
胡翘
邬晓华
黄文浩
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1999
2
下载PDF
职称材料
已选择
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引用分析
参考文献
引证文献
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