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微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计 |
刘军
李海华
王庆康
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《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2015 |
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扭臂式静电微驱动器的pulli-n现象分析 |
孙东明
董玮
玄伟
刘彩霞
王国东
陈维友
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《微纳电子技术》
CAS
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2006 |
1
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3
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空气阻尼对扭臂式静电驱动结构pull-in电压的影响 |
刘军
李海华
胡克想
王庆康
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《半导体光电》
CAS
北大核心
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2015 |
1
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4
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低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作 |
董玮
阮圣平
张歆东
刘彩霞
贾翠萍
潘建旋
张龙
孙东明
纪平
陈维友
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《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
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2003 |
1
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