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串联电容对扭转静电微执行器Pull-in稳定的影响
1
作者
方玉明
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期910-913,共4页
在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in电压值是至关重要的。针对扭转式静电微执行器,采用串联电容方法来拓宽MEMS执行器的Pull-in行程,提出了相应的Pull-in模型,并给出了算例的数值结果。这些结果对扭转式静电微执行器的设计具有一...
在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in电压值是至关重要的。针对扭转式静电微执行器,采用串联电容方法来拓宽MEMS执行器的Pull-in行程,提出了相应的Pull-in模型,并给出了算例的数值结果。这些结果对扭转式静电微执行器的设计具有一定的参考价值。
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关键词
PULL-IN
MEMS
扭转微执行器
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职称材料
题名
串联电容对扭转静电微执行器Pull-in稳定的影响
1
作者
方玉明
机构
南京邮电大学电子科学与工程学院
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期910-913,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60806036)
2010年度江苏省高校"青蓝工程"资助项目
文摘
在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in电压值是至关重要的。针对扭转式静电微执行器,采用串联电容方法来拓宽MEMS执行器的Pull-in行程,提出了相应的Pull-in模型,并给出了算例的数值结果。这些结果对扭转式静电微执行器的设计具有一定的参考价值。
关键词
PULL-IN
MEMS
扭转微执行器
Keywords
Pull-in
MEMS
Torsional microactuator
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TB53 [理学—声学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
串联电容对扭转静电微执行器Pull-in稳定的影响
方玉明
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2011
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