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题名CMP设备承载台关键技术研究
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作者
姜家宏
王广峰
李伟
王铮
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机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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出处
《电子工业专用设备》
2015年第11期28-31,共4页
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文摘
介绍了化学机械抛光设备中承载台机构的功能、结构组成,筛选合适的承载台材料,并通过运用MSC PARTRAN有限元软件对该机构进行模态分析,研究它的固有频率及振动特性,综合对比后,选择合适的方案,满足工艺过程的需求。
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关键词
化学机械抛光设备
承载台
固有频率
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Keywords
Chemical mechanical planarization equipment
Bearing units
Natural frequency
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分类号
TN305.2
[电子电信—物理电子学]
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题名7025型绞吸挖泥船防台承载能力分析研究
被引量:2
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作者
李晓燕
韦明强
向宏
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机构
中交广州航道局有限公司
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出处
《广东造船》
2015年第4期34-36,共3页
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文摘
针对7025型绞吸挖泥船在实际施工作业中遇到防抗台风问题,利用AQWA软件建立绞吸挖泥船的水动力模型,采用时域动力分析方法对绞吸挖泥船系泊系统进行水动力响应分析,计算了绞吸挖泥船在不同风况条件下以及风、浪、流耦合作用下的水动力响应,从而科学评估7025型绞吸挖泥船系泊系统承载能力,为系统性提出该船防抗强台风、超强台风的锚泊设备配备方案提供建议。计算结果与实际情况符合较好,所得结论对该船施工具有一定的指导作用。
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关键词
绞吸船
水动力分析
防台承载能力
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Keywords
Cutter-suction dredger
Water dynamic response analysis
Anti-typhoon capacity
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分类号
U674.31
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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题名中华人民共和国机械行业标准移印机
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出处
《网印工业》
1997年第5期31-35,共5页
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文摘
1 主题内容与适用范围 本标准规定了移印机的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于压印头平移式移印机。
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关键词
移印机
机械行业标准
中华人民共和国
包装储运图示标志
目视检查
承载台
不合格品
套色印刷
行业管理
基本参数
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分类号
TS803
[轻工技术与工程]
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