SPM抑振系数的理论与实验研究

为分析外界振动对扫描探针显微镜(SPM)针尖-样品副的影响,提出“抑振系数”的概念.围绕SPM针尖-样品副的动态力学模型,对抑振系数的物理含义、影响因素等进行了理论分析.搭建了SPM激振、测振的实验系统,对不同的SPM扫描器、探针、样品、针尖预应力以及针尖-样品副开/闭环对SPM抑振系数的影响进行了实验研究.在理论分析上和实验研究中,都证实SPM抑振系数与悬臂梁的有效质量、弹性系数、空气阻尼系数、针尖与样品的接触弹性系数和接触阻尼系数等相关,反映在实际SPM部件参数上,则较短的扫描器、较长的悬臂探针、较软的样品表面、较大的探针预应力、闭环控制的针尖-样品副等都是提高SPM抑振性的途经.