针对石化企业气体泄漏检测问题,对常见气体甲烷、乙烯、环氧乙烷进行红外成像检测技术试验研究,完成非制冷型泄漏检测关键模组选型测试,对比分析国产非制冷红外成像技术与进口制冷红外成像技术在不同检测距离、气体流量、镜头焦距、检...针对石化企业气体泄漏检测问题,对常见气体甲烷、乙烯、环氧乙烷进行红外成像检测技术试验研究,完成非制冷型泄漏检测关键模组选型测试,对比分析国产非制冷红外成像技术与进口制冷红外成像技术在不同检测距离、气体流量、镜头焦距、检测模式下的性能。试验结果表明,非制冷型气体红外成像检测技术可实现150 m距离,小于0.5 m 2的气体泄漏目标检测,适合作为企业气体泄漏长周期监测技术手段,并提出使用建议。展开更多
给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪...给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-b it CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.展开更多
随着微探测器的广泛应用,M E M S 技术因其微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,被越来越多地应用于微探测器的制造工艺中,为该领域的研究提供了新途径。本文简要介绍了 MEMS 技术的工艺及其主要特点,并对 MEMS 技...随着微探测器的广泛应用,M E M S 技术因其微小、智能、可执行、可集成、工艺兼容性好、成本低等特点,被越来越多地应用于微探测器的制造工艺中,为该领域的研究提供了新途径。本文简要介绍了 MEMS 技术的工艺及其主要特点,并对 MEMS 技术在非制冷红外探测器研制方面的应用作了比较详细的阐述。展开更多
文摘针对石化企业气体泄漏检测问题,对常见气体甲烷、乙烯、环氧乙烷进行红外成像检测技术试验研究,完成非制冷型泄漏检测关键模组选型测试,对比分析国产非制冷红外成像技术与进口制冷红外成像技术在不同检测距离、气体流量、镜头焦距、检测模式下的性能。试验结果表明,非制冷型气体红外成像检测技术可实现150 m距离,小于0.5 m 2的气体泄漏目标检测,适合作为企业气体泄漏长周期监测技术手段,并提出使用建议。
文摘给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-b it CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.