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高分子电子束抗蚀材料 被引量:1
1
作者 陈柳生 王艳乔 邱家白 《感光材料》 北大核心 1993年第2期3-8,共6页
本文介绍了高分子在电子束作用下的主要反应以及感电子束和x-射线的各类高分子材料;同时简单介绍了为提高分辨率而新发展的新工艺——反差提高层。
关键词 高分子材料 电子束 抗蚀材料
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用于HDI的新型感光抗蚀材料与图形转移技术
2
作者 刘晓阳 朱斌 张良静 《印制电路信息》 2007年第11期22-28,共7页
随着高密度互连(HDI)技术的发展,IC封装密度的提高,高解析度(分辨率)、均一性良好的超薄感光抗蚀膜成为必然需求,文中介绍了电沉积技术(ED)成膜的方法、原理以及相应的图形转移技术,并与传统干膜、旋涂成膜工艺进行对比,结果表明ED膜具... 随着高密度互连(HDI)技术的发展,IC封装密度的提高,高解析度(分辨率)、均一性良好的超薄感光抗蚀膜成为必然需求,文中介绍了电沉积技术(ED)成膜的方法、原理以及相应的图形转移技术,并与传统干膜、旋涂成膜工艺进行对比,结果表明ED膜具有良好的粘附力、很高解析度以及精确的图形精度。 展开更多
关键词 高密度互连(HDI) IC封装 感光抗蚀材料 光刻技术 电沉积 图形转移 解析度
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成膜树脂对重氮萘醌体系正性光致抗蚀材料性能的影响 被引量:4
3
作者 薛永薰 邬兰 王鹏 《感光科学与光化学》 CSCD 2000年第1期85-94,共10页
关键词 感光材料 成膜树脂 重搂萘醌体系 抗蚀材料
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光敏纳米SiO_2制备及在光致抗蚀材料中的应用
4
作者 陈宁 杨林 +2 位作者 张胜文 刘敬成 刘晓亚 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期72-75,共4页
经溶胶-凝胶法制得纳米SiO2,用不同结构的双键硅烷偶联剂对其表面进行原位接枝改性,得到两种光敏纳米SiO2(M70SiO2和M50SiO2),并将其添加到紫外光固化丙烯酸酯预聚物中,制得杂化光致抗蚀材料。通过测定光敏参数(D0n.5)考察其光敏性知,... 经溶胶-凝胶法制得纳米SiO2,用不同结构的双键硅烷偶联剂对其表面进行原位接枝改性,得到两种光敏纳米SiO2(M70SiO2和M50SiO2),并将其添加到紫外光固化丙烯酸酯预聚物中,制得杂化光致抗蚀材料。通过测定光敏参数(D0n.5)考察其光敏性知,杂化光致抗蚀材料光敏性明显增加,当光敏纳米SiO2的质量分数增至13.7%~15.8%时,光敏参数达25 mJ/cm2~27 mJ/cm2;用差示扫描量热仪(DSC)及热机械分析(TMA)考察抗蚀材料的热性能,结果显示,随光敏纳米SiO2用量增加Tg升高,热膨胀系数减小,同时分辨率和精密性并未因光敏纳米SiO2的加入而降低。 展开更多
关键词 光敏纳米SiO2 光致抗蚀材料 杂化 光能量敏感度 分辨率
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用熔化光致抗蚀材料方法制造微透镜阵列
5
作者 郎碧琪 《光机电世界》 1993年第10期10-11,18,共3页
关键词 抗蚀材料 微透镜 阵列 制造
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正性光刻胶组成物及由其制成的多层抗蚀材料
6
《网络聚合物材料通讯》 2003年第1期11-11,共1页
关键词 正性光刻胶 组成物 制备 多层抗蚀材料
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金属材料抗空蚀研究进展
7
作者 谭超 商剑 李珍 《辽宁工业大学学报(自然科学版)》 2023年第6期351-356,共6页
空蚀是引起流体机械过流部件失效的主要原因之一。目前,对于该课题的研究不但涉及材料本身的力学因素,还涉及外界环境因素与材料微观结构。从实验设备、机理和影响因素3个方面对国内外空蚀问题的研究进行了概述,重点综述了材料的力学性... 空蚀是引起流体机械过流部件失效的主要原因之一。目前,对于该课题的研究不但涉及材料本身的力学因素,还涉及外界环境因素与材料微观结构。从实验设备、机理和影响因素3个方面对国内外空蚀问题的研究进行了概述,重点综述了材料的力学性质、外界环境与材料微观结构对抗空蚀性能的影响,并对其进行归纳总结,指出其中的不足与问题。最后对未来空蚀研究及抗空蚀材料的发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 机理 设备 材料 影响空因素
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水利水电工程抗空蚀材料研究新进展 被引量:11
8
作者 李伟 梁川 《四川水力发电》 2000年第2期78-81,共4页
从金属材料、掺混高分子聚合物的脆性材料、IPN类材料三个方面叙述了抗空蚀材料研究的新进展 ,分别探讨了各自抵抗空蚀作用的机理。在总结这些成果的基础上 ,对今后抗蚀材料的研究 ,提出了一些新的观点和建议。
关键词 抗蚀材料 水利水电工程 金属材料
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抗空蚀材料研究应用进展 被引量:19
9
作者 王再友 龙霓东 朱金华 《材料开发与应用》 CAS 2001年第6期34-38,共5页
概括了材料空蚀机理及其影响因素 ,综合评述了材料抗空蚀性与其力学性能、组织结构之间的关系。介绍了抗空蚀材料在应用等方面所取得的进展 。
关键词 机理 空腐 材料 力学性能 组织结构
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泥浆泵的汽蚀及抗磨抗汽蚀材料 被引量:2
10
作者 周先华 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 1993年第6期25-27,共3页
本文介绍了泥浆泵汽蚀的基本过程及汽蚀后果,汽蚀核子假说,固体颗粒对汽蚀的影响等。提出了有汽蚀情况时,对泥浆泵的材料选取原则。
关键词 泥浆泵 材料 抗蚀材料
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泗阳站4#上机架镜板电蚀现象分析
11
作者 葛昊源 张洋 +1 位作者 王海蓉 唐淼 《科技创新与应用》 2024年第29期118-121,共4页
该文旨在探讨水利工程中上机架镜板电蚀现象的成因及解决方案,以提升水利工程的安全性和运行效能。通过对镜板电蚀现象的机理分析,明确溶解腐蚀、电化学腐蚀和结构等因素综合导致电蚀现象的发生。研究方法包括现场实测、材料特性分析和... 该文旨在探讨水利工程中上机架镜板电蚀现象的成因及解决方案,以提升水利工程的安全性和运行效能。通过对镜板电蚀现象的机理分析,明确溶解腐蚀、电化学腐蚀和结构等因素综合导致电蚀现象的发生。研究方法包括现场实测、材料特性分析和电化学原理探讨,对泗阳站4#机组镜板进行深入研究。结果显示,电蚀现象会导致镜板表面受损,增加安全隐患,加重经济负担,并缩短使用寿命。为改善这种情况,该文采用针对性的解决措施,如选用抗蚀材料替换原有镜板材质,设计专门的镜板吊装翻转流程,采用研磨台精细化研磨处理,以及制定严格的定期维护和检查制度。经过这些技术改造与维护策略的实施,泗阳站4#机组的镜板电蚀现象得到有效控制,提高镜板工作面的质量要求,确保镜板与推力头间绝缘电阻值高于40 MΩ,导轴瓦与瓦背间电阻值高于50 MΩ,并符合设计粗糙度要求。综合来看,该研究提出的解决方案为类似水利工程中镜板电蚀问题的防治提供有价值的参考案例。 展开更多
关键词 镜板电 上机架 抗蚀材料 研磨技术 水利工程 安全运行
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合成氨气厂抗氢蚀材料的应用
12
作者 来维亚 《石油化工腐蚀与防护》 CAS 2004年第1期54-55,64,共3页
介绍了合成氨装置及煤液化气化装置高温高压环境下的氢蚀机理及影响因素,钢中加入稳定碳化物的Cr,Mo,W,V,Nb等元素可延缓氢蚀趋势;焊后淬火加回火可提高抗氢蚀能力;冷加工使钢的抗氢蚀能力减弱,而应力和高压氢的共同作用不但影响钢的持... 介绍了合成氨装置及煤液化气化装置高温高压环境下的氢蚀机理及影响因素,钢中加入稳定碳化物的Cr,Mo,W,V,Nb等元素可延缓氢蚀趋势;焊后淬火加回火可提高抗氢蚀能力;冷加工使钢的抗氢蚀能力减弱,而应力和高压氢的共同作用不但影响钢的持久强度,而且影响其耐蚀性。合理的设计选材及严格的工艺管理可防止事故发生。 展开更多
关键词 合成氨气厂 材料 低合金钢 Nelson曲线
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化工泵空化特性与抗空蚀材料研究进展
13
作者 惠培浩 高成 梁宇 《中国科技期刊数据库 工业A》 2022年第6期86-88,共3页
介绍了化工泵的空蚀现象与空化特性的研究进展,描述了抗空蚀材料在化工机械领域应用的研究现状。针对当前抗空蚀材料面临的问题进行简要的分析,并展望了未来的研究方向。空化作用是液体局部压力减少时蒸汽或气体空泡形成、发展和溃灭的... 介绍了化工泵的空蚀现象与空化特性的研究进展,描述了抗空蚀材料在化工机械领域应用的研究现状。针对当前抗空蚀材料面临的问题进行简要的分析,并展望了未来的研究方向。空化作用是液体局部压力减少时蒸汽或气体空泡形成、发展和溃灭的过程,而空蚀现象是指流体机械(以水力机械为主)流道中介质由于空化作用产生空泡,空泡溃灭侵蚀和破坏过流部件固体壁面的现象。 展开更多
关键词 化工泵 现象 空化特性 材料
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下一代刻蚀用的抗蚀剂材料
14
作者 高晓萍 《光机电信息》 1995年第5期27-29,共3页
现在刻蚀主要利用g线(436nm)和i线(365nm)来光刻。为了适应未来微细化的要求,正在研究超分辨刻蚀、短波长曝光的深紫外刻蚀以及电子束刻蚀(见图1)。本文就刻蚀所需要的抗蚀剂,特别是化学放大抗蚀剂的最新动向和今后的课题作以叙述。
关键词 材料 光刻 微细化 电子束刻 深紫外刻
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抗空蚀材料分析
15
作者 李伟 《西昌农业高等专科学校学报》 1999年第3期29-30,28,共3页
本文通过对空蚀破坏的分析,介绍了当今从软、硬两个方面出发研究的最新抗蚀材料制作方法。特别介绍了离子注入术在水轮机转轮坑蚀中的应用及 IPN 技术。
关键词 材料 气核 离子注入技术 IPN技术 破坏
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仔细选择抗空蚀材料
16
作者 汤姆·施皮尔歇 柳青 向世武 《国际水力发电》 1999年第1期31-33,共3页
侵蚀和空蚀破环对水电站运营者是永恒的问题。本文作者向即将对水轮机进行修补的运营者推荐了一种抗蚀金属。
关键词 材料 水电站运营者 水轮机 金属
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尿素设备用不锈钢材料的抗蚀性潜力研究
17
作者 何多胜 《科技与企业》 2013年第2期293-293,共1页
尿素用设备的平稳、安会、长周期的运行,是尿素行业一直追求的重要目标,然而像腐蚀性的开裂现象、腐蚀性的穿孔现象、腐蚀性减薄现象等腐蚀问题对尿素设备的使用安全构成严重的威胁,对连续的长时间运转也极其不利,如甲胺泵(动设备)、单... 尿素用设备的平稳、安会、长周期的运行,是尿素行业一直追求的重要目标,然而像腐蚀性的开裂现象、腐蚀性的穿孔现象、腐蚀性减薄现象等腐蚀问题对尿素设备的使用安全构成严重的威胁,对连续的长时间运转也极其不利,如甲胺泵(动设备)、单向阀及氨气提塔(静设备)等设备,对抗腐蚀性的要求都很高。为此,我们迫切需要寻找能够即能满足设备机械性能要求又具有良好的抗蚀性的设备原料。如何进一步提高尿素设备材料的抗蚀性已经成为摆在我们面前迫切需要解决的重要问题。 展开更多
关键词 尿素设备 不锈钢 材料 潜力研究
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恒大高新:自主创新的防磨抗蚀领域龙头
18
作者 林染 《股市动态分析》 2011年第43期82-82,共1页
投资要点:1、拥有完整的产品系列,综合竞争力国内第一;2、防磨抗蚀行业小投入大产出,属于朝阳行业;3、公司具备先发和规模优势,未来重点关注募投项目进展。
关键词 高新 防磨 综合竞争力 抗蚀材料 产品系列 行业 服务网络 自主创新 防护 个性化
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光致抗蚀干膜的湿法贴膜
19
作者 李海 《印制电路信息》 1997年第7期41-43,共3页
为了提高光致抗蚀干膜在热辊贴膜中的覆形性,湿法贴膜已在印制板制造业中成功应用了许多年,即在贴干膜前,在基材表面上涂一层薄薄的水膜。与干法贴膜相比,尽管湿法贴膜要求额外的操作,但许多印制板生产厂商仍采用这一技术,这是因为只需... 为了提高光致抗蚀干膜在热辊贴膜中的覆形性,湿法贴膜已在印制板制造业中成功应用了许多年,即在贴干膜前,在基材表面上涂一层薄薄的水膜。与干法贴膜相比,尽管湿法贴膜要求额外的操作,但许多印制板生产厂商仍采用这一技术,这是因为只需少量的投入及维护开支,就可以大大提高产出合格率。 展开更多
关键词 液态光致 贴膜 抗蚀材料 湿法 不规则表面 络合物 离子交换树脂 亲水性 印制板 化学反应
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防止水力机械转轮汽蚀、磨损的措施 被引量:4
20
作者 王晓武 《云南电力技术》 2002年第4期13-14,66,共3页
介绍了水力机械转轮发生汽蚀与磨损的原因及现象 。
关键词 水轮机 水力机械 转轮 磨损 叶片 抗蚀材料 检修
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