微加速度传感器折叠梁刚度的精确求法

通过采用结构力学的力法，建立了求解叉指式微结构加速度传感器刚度的力学模型，并得到了精确解。与材料力学方法相比，该模型推导过程简单；与有限元方法相比，该模型在同等力学假设的条件，精度更高，且将计算分析的工作效率大大提高。