轨道分子屏极高真空系统的抽气方程

地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,真空系统的抽气方程式是:P=Q/S;轨道分子屏系统是开放的,或者说具有部分真空容器,相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?本文提出了一个物理模型,推导出了半球型及球冠型轨道分子屏极高真空系统的抽气方程。通过解含时间的微分方程,可得到相同的抽气方程。该方程适用于其它形状的轨道分子屏极高真空系统。

球形轨道分子屏极高真空系统的抽气方程

地面真空系统中,气体处于封闭的真空容器内,达到平衡状态时,压力 P 与抽速 S 的关系是:P=OIS;轨道分子屏极高真空系统是开放的(或者说具有部分真空容器),相应的抽气方程应该是怎样的形式呢?文章提出了一个物理模型,推导出了球形轨道分子屏极高真空系统的抽气方程。

场发射显示器中消气剂使用的若干问题

在场发射显示器 (FED)中使用消气剂 ,是维持FED内部真空度的最主要的手段 ,对延长FED的工作寿命起着重要作用。本文首先从抽气平衡方程推导得到了检验FED漏率是否合格的判别公式 ,并从此判别公式出发 ,对真空环境和FED工作寿命之间的关系进行了计算。文中提出了一种新型的器件封装结构的方案 ,实现了蒸散型和非蒸散型消气剂 (NEG)的同时使用 ,对延长FED ,特别是大屏幕FED的工作寿命 。